Drawing Title
GAS DELIVERY SYSTEM — ETCH-01
DWG No.
GDS-101
Mode
MANUAL
Interlock
0
Alarm
0
Elapsed
00:00
MFC 유량 정밀도
— %
공정 재현성
밸브 응답속도
— ms
챔버 압력 도달
배관 청정도
— %
파티클 → 수율
스크러버 처리효율
—
배기 안전
3개 가스 스틱과 N₂ 퍼지 라인이 매니폴드에서 합류합니다. 수동밸브·ALV·스로틀밸브를 눌러 조작하세요.
진단형은 고장이 숨겨진 채 시작합니다. 도면의 계기를 여는 순서가 그대로 진단 순서로 기록되어 채점됩니다.
화면 관례에 대해. P&ID 니모닉 + 계기 버블 + 심볼 터치 → 페이스플레이트 + AUTO/MANUAL + 인터록 표시는 산업 HMI와 배관계장도의 일반적인 관례를 따랐습니다. 계기 버블 아래 칸에 실측값을 띄운 것은 이 실습을 위한 변형입니다. 특정 장비사나 벤더의 실제 화면을 복제한 것이 아니며, 태그 체계(AV-101, I-01 등)도 관례를 따라 붙인 것이지 특정 팹의 규칙이 아닙니다.
모델에 대해. 챔버 압력은 P = Q·K/Seff, 유효 배기속도는 펌프 배기속도 × 스로틀 개도, 수율은 포아송 Y = exp(−D0·A)입니다. 챔버 부피 50 L, 펌프 배기속도 400 L/s, 다이 면적 1 cm², 배경 가스 부하 0.32 sccm 고정. 펌프 다운 구간은 실제보다 시간을 압축했습니다. MFC 환산계수는 대표값이며, 밸브 응답시간과 MFC 사양은 제조사·모델마다 다르므로 실제 값은 장비 매뉴얼을 기준으로 확인하십시오.