FIELD ENGLISH · INTRO

장비 기초 영어

쉬운 영어로 장비 이름과 기본 동작을 익힌다.
Level: INTRO · Simple English + 한국어 도움말

장비 구성요소

장비를 이루는 기본 부품의 영어 이름을 익혀요.
🛢️
Chamber
챔버 · 반응 공간
🌀
Pump
펌프 · 배기
🔘
Valve
밸브 · 여닫음
🧪
Gas line
가스 라인 · 가스 통로
RF generator
RF 전원
💿
Wafer
웨이퍼 · 기판

기본 동작 동사

현장에서 자주 쓰는 동작 동사와 예문이에요.
ENGLISH예문
Load싣다"Load the wafer."
Pump down배기하다"Pump down the chamber."
Purge퍼지하다"Purge with N2."
Vent대기압 복귀"Vent the chamber."
Unload꺼내다"Unload the wafer."

값 읽기: set point vs actual

Set point = 목표값 (내가 정한 값)
Actual value = 실측값 (지금 실제 값)
Pressure set point 5.0e-6 Torr / actual 5.0e-6 Torr — OK.
설정값과 실측값이 같으면 정상.

알람 읽기 (쉬움)

짧은 영어 알람 메시지를 읽고 뜻을 파악해요.
Chamber pressure is too high. Check the pump.
  • 무엇이 문제인가? → 챔버 압력이 너무 높다 (too high).
  • 어느 장치? → 펌프 (the pump).
  • 무엇을 하라고? → 펌프를 점검하라 (Check the pump).

실습으로 가기

① Equipment HMI 시뮬레이터를 열어요.
메뉴 Main · Chamber · Log 를 눌러보고 영어를 읽어요.
순서대로 Load Wafer → Pump Down 버튼을 누르세요.
Step 1: Load Wafer  →  Step 2: Pump Down
4단계 루프 기억하기: Read → Operate → Interpret → Report (읽기 → 조작 → 해석 → 보고)