로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 3

로봇 구조
R축 · θ축 · Z축

이송 로봇은 딱 세 방향으로만 움직입니다. 팔을 접었다 펴고(R), 몸통을 돌리고(θ), 위아래로 오르내립니다(Z). 이 세 숫자의 조합 하나가 곧 웨이퍼 한 장이 놓일 자리입니다.

이 강의에서 — 세 축이 각각 어떤 동작인지 보고, 한 자리를 (θ, R, Z) 세 숫자로 읽는 법을 익히고, 시뮬레이터에서 Initialize → Home → θ·R·Z 를 직접 눌러 숫자가 어떻게 변하는지 확인합니다. 마지막에는 훈련 5개로 "최소 조작으로 목표 자세를 만드는" 연습까지 합니다.

학습 목표

이 강의가 끝나면

세 축을 구분한다 θ(회전)·R(신축)·Z(승강)이 각각 무슨 동작이고, 어느 버튼이 어느 축을 움직이는지 보지 않고 말할 수 있다.

한 자리를 세 숫자로 읽는다 "FOUP 3번 칸"을 (θ 180°, R 뻗음, Z 3)으로 바꿔 말하고, 반대로 숫자만 보고 어디인지 짚는다.

Home의 의미를 안다 전원을 넣은 직후 왜 좌표가 "없는" 상태인지, 왜 Initialize → Home 을 건너뛰면 모든 이동이 거부되는지 설명한다.

조작 수를 계산한다 지금 자세에서 목표 자세까지 최소 몇 번 눌러야 하는지를 회전 횟수 + Z 칸 수로 미리 센다.

실습으로 확인하는 것

Initialize → Home, θ 2회 이상, R 1회 이상, Z 2회 이상. 그리고 훈련 탭의 드릴 5개를 모두 통과합니다.

평가 기준 — 드릴 ④ 경로 계획과 ⑤ 정밀 순회는 "되는가"가 아니라 몇 번 만에 되는가를 봅니다. 누르기 전에 세는 습관이 곧 점수입니다.

01 · 왜 세 축

왜 공장 로봇처럼 안 생겼을까

웨이퍼는 눕혀서 옮긴다

300 mm 웨이퍼는 두께가 0.775 mm 밖에 안 되는 유리판 같은 물건입니다. 기울이면 휘고, 휘면 뒷면이 손에 닿습니다. 그래서 이송 내내 수평을 절대 깨지 않는 구조만 씁니다. 팔을 접었다 펴는 수평 신축 구조가 답입니다.

좁은 곳을 드나든다

FOUP 슬롯 간격은 10 mm, 웨이퍼 두께는 0.775 mm. 손이 들어갈 틈은 위아래로 몇 mm 뿐입니다. 팔을 편 채로 돌아다니면 반드시 옆을 칩니다. 그래서 접은 상태로 이동하고 목표 앞에서만 편다는 규칙이 생깁니다.

세 축이면 충분하다

웨이퍼를 기울일 일이 없으므로 회전 3자유도는 필요 없습니다. 어느 스테이션이든 θ(어느 방향) + R(얼마나 뻗어) + Z(어느 높이) 세 숫자로 지정됩니다. 축을 줄이면 관절이 줄고, 관절이 줄면 발진(파티클)과 오차가 줄어듭니다.

그래서 규칙 하나 — 팔을 편(Extend) 상태로 회전하면 옆 장치와 충돌합니다. 장비는 이를 Collision Interlock (ALM-201) 으로 막습니다. 시뮬에서 일부러 한 번 걸어 보는 것이 이번 강의 훈련 ②의 과제입니다.

02 · θ축

θ축 — 몸통을 돌려 방향을 고른다

회전으로 스테이션을 고른다 로봇을 가운데 두고 스테이션이 빙 둘러섭니다. θ는 "어느 쪽을 바라볼까"를 정하는 축입니다. 시뮬의 EFEM 로봇 둘레에는 세 곳이 있습니다.

접은 상태로만 돈다 회전 전에 반드시 Retract. 편 채 θ를 누르면 ALM-201, 편 채 Z를 누르면 ALM-202 로 거부됩니다.

도착은 엔코더로 확인한다 명령한 각도와 실제로 간 각도를 되읽어 비교합니다. 어긋나 있으면 Extend 자체가 ALM-405 Position Interlock 으로 막힙니다 — 틀어진 채 팔을 넣으면 슬롯 벽을 치기 때문입니다.

스테이션	θ (시뮬 값)	무엇을 하는 곳
FOUP	180°	웨이퍼가 담겨 오는 카세트
Pre-aligner	270° (−90°)	노치를 0°로 맞추는 정렬대
Load Lock	0°	진공 쪽으로 넘기는 중간 방

세어 보면 — 스테이션이 세 곳이고 원형으로 배치되어 있으므로, 어디에서 어디로 가든 회전은 1회면 끝입니다(같은 곳이면 0회). 12번 슬라이드에서 이 사실이 조작 수 계산의 절반을 차지합니다.

03 · R축

R축 — 팔은 늘어나지 않습니다, 펴집니다

링크가 펴지는 구조 망원경처럼 늘어나는 것이 아닙니다. 두 개의 링크(팔꿈치)가 접혔다 펴지면서 손끝이 정확히 직선으로 나갑니다. SCARA·Frog-leg 라 부르는 이 방식은 회전 모터만으로 직선 운동을 만들어냅니다.

왜 직선이어야 하나 슬롯은 좌우로도 좁습니다. 손끝이 호를 그리며 들어가면 입구에서 벽을 칩니다. 직선으로 들어가고 직선으로 나와야 합니다.

편 채로는 아무것도 못 한다 Extend 상태에서는 회전(ALM-201)도, Z 이동(ALM-202)도 모두 거부됩니다. 할 수 있는 것은 Pick·Place·Retract 뿐입니다.

기억할 말 — "다닐 땐 접고, 넣을 때만 편다." 4강 수동조작부터 15강 자동 시퀀스까지 이 문장 하나가 계속 따라옵니다.

04 · Z축

Z축 — 높이가 곧 슬롯 번호

위아래 승강 FOUP 안에서 몇 번 칸을 겨냥하느냐가 곧 Z 값입니다. 실제 300 mm FOUP 은 25칸 · 간격 10 mm 이고, 이 시뮬은 보기 쉽도록 5칸으로 줄였습니다. 칸 번호가 곧 높이라는 관계는 같습니다.

1번이 맨 위다 시뮬의 ▲ Z Up 은 슬롯 번호를 줄이고, ▼ Z Down 은 늘립니다. 도면에서 1번 칸이 맨 위에 그려져 있는 것과 같습니다. 숫자와 화면을 같이 보며 한 번 확인하고 넘어가세요.

Z 는 접은 채로만 겨냥은 팔을 넣은 상태에서 합니다. 편 채 Z 를 누르면 ALM-202. 웨이퍼를 살짝 떠올리는 미세 동작은 Z 버튼이 아니라 Pick · Place 버튼 안에 들어 있습니다(5강).

한계를 넘으면 — ALM-401

Z 1번 위로 더 올리거나 5번 아래로 더 내리면 Limit 센서가 잡아 정지시킵니다. 훈련 ②에서 일부러 만들어 볼 알람이 바로 이것입니다.

흔한 실수 — 빈 칸 겨냥

Z가 웨이퍼 없는 칸을 가리킨 채 Pick을 누르면 ALM-502(Wafer Presence OFF 위치에서 Pick)로 거부됩니다. 고장이 아니라 겨냥이 틀린 것입니다. 7강에서 매핑으로 이것을 미리 막는 법을 배웁니다.

계산 규칙 — Z는 한 번 누를 때 한 칸씩 움직입니다. Z 1에서 Z 4로 가려면 3회. 이 숫자가 그대로 조작 횟수에 들어갑니다.

05 · 좌표

가로세로가 아니라, 방향 · 거리 · 높이

이송 로봇의 위치는 극좌표로 생각하면 쉽습니다. "어느 방향(θ)으로 돌아, 얼마나 뻗어(R), 어느 높이(Z)" — 세 숫자면 한 점이 정해집니다.

축	무엇	단위	시뮬 표시
θ	방향 (회전각)	도(°)	상태바 θ
R	팔을 뻗은 거리	mm	상태바 R · 0이면 접힘
Z	높이 (슬롯 번호)	칸	상태바 Z

왜 직교좌표를 안 쓰나 — 모터가 실제로 도는 축이 θ와 R이기 때문입니다. x·y로 말하면 매번 삼각함수로 바꿔야 하지만, θ·R로 말하면 명령이 곧 모터 회전량입니다.

읽기 연습 — 이 자세는 어디인가

상태바에 θ 180° · R 0 · Z 3 이라고 떠 있습니다. θ 180°는 FOUP 방향, R 0은 팔이 접힘, Z 3은 세 번째 칸 높이. 즉 "FOUP 3번 칸 앞에 서서 팔을 접고 대기 중" 입니다. 아직 아무것도 집지 않았습니다.

반대로 쓰기 — 이 말을 숫자로

"Load Lock 에 웨이퍼를 넣기 직전" → θ 0° (Load Lock 방향) · R 뻗음 · Z 목표 높이. 이 세 줄을 말할 수 있으면 12강에서 로봇 프로그램을 쓸 준비가 된 것입니다.

06 · 기준점

Home을 먼저 하는 이유

전원만으로는 위치를 모른다 대부분의 서보는 증분형(incremental) 엔코더를 씁니다. "얼마나 돌았는지"는 세지만 "지금 어디인지"는 모릅니다. 전원을 껐다 켜면 그 셈이 0으로 지워집니다.

Initialize — 깨우는 단계 서보 전원을 넣고 엔코더를 잡습니다. 아직 좌표는 없습니다. 이 단계를 건너뛰면 ALM-101 로 모든 명령이 거부됩니다.

Home — 0점을 확정하는 단계 정해진 기준 위치까지 천천히 가서 Home 센서 ON 을 확인합니다. 그 순간부터 θ·R·Z 숫자가 의미를 갖습니다. Home 전에 축을 움직이려 하면 ALM-102 입니다.

비유

지도를 펴도 "현재 위치"를 모르면 길을 못 찾습니다. Home은 그 현재 위치 핀을 꽂는 일입니다. 핀이 없으면 지도의 좌표는 전부 의미가 없습니다.

Home 센서는 언제 ON인가

시뮬의 Home Sensor 는 "원점 복귀를 했고, 팔이 들어와 있을 때" 만 ON 입니다. Home 을 눌렀어도 팔을 Extend 하면 바로 OFF 로 떨어집니다 — 6강에서 직접 만들어 봅니다.

실습에서 제일 많이 막히는 지점 — 훈련을 시작하고 회전 버튼을 눌렀는데 아무 일도 안 일어난다면 십중팔구 Initialize → Home 을 안 한 것입니다. 훈련 패널 위쪽에 주황색 경고로 뜹니다.

07 · 한계

리밋이 세 겹인 이유

축의 끝을 막는 장치가 세 개 겹쳐 있습니다. 하나면 될 것 같은데 왜 세 개일까요.

소프트 리밋 — 소프트웨어 제어기가 좌표 범위를 먼저 막습니다. 정상 운전 범위를 벗어나는 명령 자체를 거부하므로 축은 아예 움직이지 않습니다. 시뮬의 ALM-401 이 이 층입니다.

하드 리밋 — 센서 소프트 리밋이 잘못 설정되었거나 좌표가 틀어져 축이 실제로 끝까지 갔을 때, Limit 센서가 물리적으로 감지해 즉시 정지시킵니다.

기구 스토퍼 — 쇳덩이 센서 배선이 끊어져도 남는 마지막 층입니다. 기계적인 턱이 축을 물리적으로 세웁니다. 여기까지 왔다면 이미 사고지만, 최소한 파손은 막습니다.

각 층이 잡는 것이 다르다

1층은 잘못된 명령을, 2층은 틀어진 좌표를, 3층은 고장난 센서를 잡습니다. 같은 사고를 세 번 막는 것이 아니라, 서로 다른 원인을 하나씩 나눠 막는 설계입니다.

이 사고방식은 계속 나온다 — 진공 밸브(10강)도, 도어 인터록(7강)도 같은 구조입니다. "조건 검사 → 센서 확인 → 물리적 차단". 14강 고장 진단에서 어느 층이 뚫렸는지로 원인을 좁히게 됩니다.

08 · 손

End Effector — 로봇의 손

웨이퍼를 어떻게 드나

두 가지입니다. 진공 흡착은 뒷면을 빨아 붙들고, 모서리 지지(Edge grip)는 가장자리 3~4 점만 받칩니다. 어느 쪽이든 패턴이 있는 앞면은 절대 건드리지 않습니다.

대기용과 진공용은 재질이 다르다

진공 안에서는 흡착이 안 되므로(빨아들일 공기가 없으므로) 진공 로봇은 웨이퍼를 마찰 패드 위에 얹거나 가장자리를 받치는 방식을 씁니다. 공정 챔버를 드나드는 손은 수백 ℃ 웨이퍼를 받으므로 세라믹 등 내열 재질을 씁니다. 같은 로봇이라도 손은 구간마다 다릅니다.

EFEM 안에서 포크 모양 손에 웨이퍼 한 장을 얹고 팔을 뻗은 대기 로봇 — (생성 이미지) 포크 모양 End Effector — 앞면은 닿지 않고 뒷면만 받친다.

손이 웨이퍼를 놓쳤다는 것을 어떻게 아나

손끝에 Wafer Presence 센서가 있습니다. 집었는데 OFF면 못 집은 것이고, 놓았는데 ON이면 안 놓인 것입니다. 시뮬 상태바의 HAND 표시가 그 신호입니다.

왜 이 센서가 중요한가 — 로봇은 "집었다고 생각하고" 다음 동작으로 넘어갑니다. 이 센서가 없다면 빈손으로 Place 하고, 들고 있는 줄 모르고 또 Pick 해 두 장을 겹칩니다 — 그래서 장비는 빈손 Place 를 ALM-504, 이중 Pick 을 ALM-501 로 막습니다. 14강에서 이 센서가 고장난 경우를 직접 진단합니다.

09 · 정밀

정확도와 반복도 — 이송에서 더 중요한 쪽

정확도 (Accuracy)

명령한 절대 좌표에 얼마나 가까이 가는가. "Z 3번 칸으로 가라"고 했을 때 실제로 3번 칸 높이에 가 있는가.

반복도 (Repeatability)

같은 명령을 100번 주면 100번 같은 자리로 가는가. 절대 위치가 조금 틀려도, 매번 똑같이 틀리면 반복도는 좋은 것입니다.

이송 로봇은 반복도가 우선입니다. 좌표는 사람이 티칭으로 직접 맞춰 주기 때문에 절대 정확도는 나중에 보정할 수 있지만, 매번 흔들리는 축은 보정할 방법이 없습니다.

숫자로 보면 왜 그런지 보인다

FOUP 슬롯 간격 10 mm, 웨이퍼 두께 0.775 mm. 손이 위아래로 쓸 수 있는 여유는 몇 mm 수준입니다. 이송 로봇의 반복도는 보통 ±0.1 mm 안팎을 요구합니다 — 여유의 1/30 정도로 잡아 두는 셈입니다.

반복도가 나빠지면 어떤 증상인가

"어제까지 되던 슬롯에서 가끔 걸린다", "5번 칸만 실패한다" 처럼 재현되지 않는 실패로 나타납니다. 알람 코드는 매번 달라서 코드만 보면 원인을 못 찾습니다. 같은 동작을 여러 번 반복해 보는 것이 진단의 첫 수순인 이유입니다.

10 · 티칭

좌표는 어떻게 정하나 — 티칭

로봇은 FOUP이 어디 있는지 태어날 때부터 알지 못합니다. 사람이 한 번 데려가서 "여기다" 하고 가르쳐 줘야 합니다. 그 작업을 티칭(Teaching) 이라고 합니다.

지점 등록 각 스테이션 앞으로 축을 조금씩 움직여 정확한 θ·R·Z 를 찾은 뒤, 그 값을 좌표표에 저장합니다. FOUP 25칸이면 기준 칸 하나와 간격으로 나머지를 계산합니다.

재현 이후 운전에서는 저장된 좌표를 그대로 불러 씁니다. 로봇이 "정확"한 것이 아니라, 사람이 맞춰 둔 값을 반복하는 것입니다.

틀어지면 충격·부품 교체·오랜 운전으로 좌표가 조금씩 밀립니다. 그러면 Extend 가 슬롯 벽을 스치거나, 웨이퍼가 칸에 비스듬히 놓입니다.

왜 셋업이 오래 걸리는가

장비를 새로 설치하면 스테이션마다 티칭을 다시 해야 합니다. 이 작업이 셋업 시간의 상당 부분을 차지합니다. "장비는 들어왔는데 아직 웨이퍼를 못 돌린다"는 말의 상당수가 여기에 있습니다.

티칭 틀어짐은 알람으로 안 뜬다

축은 명령대로 갔으므로 제어기는 정상이라고 판단합니다. 증상은 간헐적인 Pick 실패나 Position Interlock(ALM-405) 처럼 애매하게 나타납니다. 14강 진단 훈련의 7가지 고장 중 하나가 바로 이 티칭 틀어짐입니다.

한 문장 — 좌표표 한 장이 로봇의 지도이고, 티칭은 그 지도를 그리는 일입니다.

11 · 비교

공장 로봇(6축)과 무엇이 다른가

6축 관절 로봇 — 자동차 공장

어깨·팔꿈치·손목을 모두 돌려 자유롭게 기울이고 비틉니다. 용접·도장처럼 각도가 중요한 일에 맞습니다. 대신 관절이 많아 크고, 감속기·그리스에서 미세 입자가 계속 나옵니다.

웨이퍼 이송 로봇 — 클린룸

기울일 필요가 없으므로 축을 3개로 줄였습니다. 관절이 적으니 발진이 적고, 오차 누적이 적고, 부피가 작습니다. 대기 로봇은 클래스 1 수준 청정도 안에서 돌아야 합니다.

	6축 관절	이송 로봇
자유도	6 (위치+자세)	3 (θ·R·Z)
자세 제어	임의 각도	수평 고정
최우선 성능	도달 범위·힘	반복도·청정도
실패의 대가	부품 하나	웨이퍼 한 장 = 수백만 원

결론 — 자유도를 일부러 버려서 정밀도와 청정도를 얻은 구조입니다. "단순해서 정밀하고, 정밀해서 신뢰할 수 있다."

12 · 계산

누르기 전에 세기 — 조작 수 계산법

훈련 ④와 ⑤는 "되는가"가 아니라 몇 번 만에 되는가를 봅니다. 다행히 이 장비의 조작 수는 암산으로 셀 수 있을 만큼 단순합니다.

규칙은 두 줄뿐

① 회전 — 스테이션이 세 곳이고 원형이므로, 다른 곳으로 옮기면 1회, 같은 곳이면 0회.
② Z 이동 — 칸 번호 차이만큼. Z 1 → Z 4 는 3회.

한 목표까지의 최소 조작

비용 = (스테이션이 다르면 1) + |Z 차이|

예: 지금 FOUP · Z 3, 목표 Load Lock · Z 5 → 1 + 2 = 3회. 상태바의 현재 값과 훈련 패널의 목표를 나란히 보고 빼면 됩니다.

준비 2회 — 훈련 허용치에는 Initialize·Home 2회가 따로 더해져 있습니다. 즉 허용 = 최단 + 준비 2 + 여유(드릴마다 다름). 화면에 그대로 적혀 있습니다.

순서를 바꾸면 절반이 된다 — 계산 예

시작 FOUP · Z 1. 목표 네 곳: FOUP Z2 · Load Lock Z5 · FOUP Z3 · Load Lock Z4.

나온 순서대로 돌면	비용
FOUP Z1 → FOUP Z2	0+1 = 1
→ Load Lock Z5	1+3 = 4
→ FOUP Z3	1+2 = 3
→ Load Lock Z4	1+1 = 2
합계	10회

같은 곳끼리 묶고 Z를 한 방향으로	비용
FOUP Z1 → FOUP Z2 → FOUP Z3	1+1 = 2
→ Load Lock Z4	1+1 = 2
→ Load Lock Z5	0+1 = 1
합계	5회 — 정확히 절반

13 · 읽기 연습

한 점을 (θ, R, Z)로 읽어보기

상황	θ	R	Z	상태바에서 확인할 것
전원 직후	—	—	—	좌표가 의미 없음 · Home 센서 OFF
Home 완료	180°	0 (접힘)	3	HOME 램프 ON
FOUP 1번 칸 겨냥	180°	0	1	STATION = FOUP
FOUP 1번 칸에 진입	180°	뻗음	1	R 값이 0에서 커짐
Pre-aligner 앞	270°	0	정렬 높이	STATION = Pre-aligner
Load Lock 앞	0°	0	목표 높이	STATION = Load Lock

스스로 풀어 보기

Q. 지금 상태바가 STATION = Pre-aligner · Z 2 · R 0 입니다. 훈련 목표가 FOUP · Z 5 라면 최소 몇 번을 눌러야 할까요? A. 스테이션이 다르니 회전 1회, Z는 2 → 5 이므로 3회. 합쳐서 4회입니다. 실제로 그 횟수로 되는지 시뮬에서 세어 보세요.

14 · 실습 준비

시뮬레이터 화면 지도 — 어디에 무엇이 있나

3강에서 열리는 탭은 다섯 개입니다. 각 탭이 무엇을 하는 곳인지 먼저 알고 들어가세요.

탭	여기서 하는 일
학습	이번 강의 미션 5개와 "지금 할 일" 표시. 진행률이 여기서 채워집니다.
수동조작	버튼이 있는 유일한 탭. Initialize·Home·회전·Z·Extend·Retract·Pick·Place 전부 여기 있습니다.
훈련	드릴 5개를 고르고 시작하는 곳. 시작하면 목표와 완료 조건이 계속 떠 있습니다.
센서 모니터	Home·Wafer Presence 등 신호 ON/OFF. 6강에서 본격적으로 씁니다.
알람 로그	거부된 동작의 코드와 이유. 최근 줄부터 위로 읽습니다.

훈련을 시작한 다음이 헷갈립니다 — 이렇게 하세요

① 훈련 탭에서 드릴의 시작을 누릅니다.
② 패널에 "지금 만들 자세 — 목표"와 [수동조작 탭으로 이동 →] 버튼이 뜹니다. 그 버튼을 누릅니다.
③ 수동조작 탭에서 Initialize → Home 을 먼저 누릅니다.
④ 화면 맨 아래 상태줄에 목표가 계속 따라다닙니다. 그것을 보며 회전·Z를 조작합니다.
⑤ 목표 자세를 만들면 자동으로 다음 목표가 나옵니다.

기억할 것 — 훈련 탭에는 움직이는 버튼이 없습니다. 지시만 뜨는 곳입니다. 실제 조작은 항상 수동조작 탭에서 합니다.

15 · 실습 절차

3강에서 직접 해볼 것 — 순서대로

Initialize → Home 수동조작 탭 › 준비 동작. 두 버튼이 켜지고 상태줄 값이 의미를 갖기 시작합니다. i h 단축키도 됩니다.

θ축 2회 이상 ◀ Rotate / Rotate ▶ 로 스테이션을 바꿉니다. STATION 표시가 FOUP → Pre-aligner → Load Lock 으로 바뀌는지 보세요.

R축 1회 이상 Pre-aligner 앞에서 Extend 를 누르세요. 3강에는 Load Port 탭이 없어 FOUP 문을 열 수 없으므로, FOUP 앞에서 Extend 하면 ALM-301 로 거부됩니다 — 스테이션마다 뻗을 수 있는 조건이 다르다는 것을 여기서 확인합니다.

Z축 2회 이상 ▲ Z Up / ▼ Z Down. 숫자가 줄고 느는 방향을 확인합니다.

훈련 드릴 5개 완주 훈련 탭에서 ① → ⑤ 순서로. ④와 ⑤는 조작 수 제한이 있으니 12번 슬라이드의 계산법을 쓰세요.

막혔을 때 보는 순서

1. 버튼을 눌렀는데 아무 일도 없다 → Initialize·Home 했는지.
2. 회전이 거부된다 → 팔이 Extend 상태인지 (Retract 먼저).
3. Extend 가 거부된다 → 그 스테이션의 문이 열려 있는지.
4. 그래도 모르겠다 → 알람 로그를 읽으세요. 코드와 이유가 한 줄로 적혀 있습니다.

완료 기준 — 학습 탭의 미션 5개 체크가 모두 채워지면 3강 완료입니다. 조작할 때 상태줄의 R·θ·Z 숫자 변화를 같이 보세요. 숫자와 동작을 연결하는 것이 이 강의의 목적입니다.

16 · 훈련

드릴 5개 — 무엇을 보는 훈련인가

드릴	완료 조건	제한	무엇을 보는가
① 워밍업 순회	목표 자세 10개 연속 달성	없음	축 감각 — 회전·Z가 어느 방향인지 손에 붙이기
② 금지 동작 3종	ALM-201 · ALM-202 · ALM-401 을 각각 한 번씩	없음	거부 조건 — 언제 막히는지 일부러 겪어보기
③ 속도 순회	목표 20개 달성	180초	망설임 — 생각하는 시간이 곧 기록
④ 경로 계획	목표 6곳 모두 방문 (순서 자유)	최단 + 준비 2 + 여유 2	순서 최적화 — 12번 슬라이드의 계산
⑤ 정밀 순회	목표 10개 연속 달성	최단 + 준비 2 + 여유 6 · 알람 2회까지	정확성 — 헛도는 조작 없이 최단으로

④번에서 가장 많이 실패하는 이유

목표 6곳이 나온 순서대로 돌기 때문입니다. 허용 조작 수는 최적 순서로 돌았을 때를 기준으로 계산되므로, 순서를 안 바꾸면 거의 반드시 초과합니다. 화면에 뜬 6개를 종이에 적고 스테이션끼리 묶은 뒤 시작하세요. 시간 제한은 없습니다.

정리 · 자가 점검

3강에서 남길 것

세 축 θ = 방향 · R = 거리 · Z = 높이. 한 자리는 이 세 숫자로 정해진다.

다닐 땐 접고, 넣을 때만 편다 편 채 회전은 ALM-201, 편 채 Z는 ALM-202.

Home이 기준점 Initialize로 깨우고 Home으로 0점을 잡아야 좌표가 의미를 갖는다.

누르기 전에 센다 비용 = (스테이션 다르면 1) + |Z 차이|.

Q1

팔을 편 상태로 회전하면 왜 안 되나요?
→ 편 팔의 손끝이 옆 스테이션 구조물과 부딪히기 때문. 장비가 ALM-201로 미리 막는다.

Q2

정확도와 반복도 중 이송에서 더 중요한 것과 그 이유는?
→ 반복도. 절대 좌표는 티칭으로 맞춰 줄 수 있지만, 매번 흔들리는 축은 보정할 방법이 없다.

Q3

지금 Load Lock · Z 1 인데 목표가 FOUP · Z 4 입니다. 최소 조작 수는?
→ 회전 1 + |4−1| = 3 → 합 4회.

다음 강 — 4강 수동조작: 이 세 축에 Load Port가 더해집니다. FOUP 문을 열고, 팔을 뻗고, 순서를 어기면 어떻게 거부되는지를 손으로 겪습니다.

로봇 구조R축 · θ축 · Z축