로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 4

수동조작
Manual Mode 기본

이제 버튼을 직접 누릅니다. Home·Extend·Retract·Rotate·Up·Down — 동작 하나에 버튼 하나로 웨이퍼를 옮길 준비를 합니다.
이 강의 — FOUP을 도킹·개방하고, 팔을 뻗고 접으며 "언제 되고 언제 거부되는지"를 손으로 익힙니다.
HOME EXTEND RETRACT ROTATE UP DOWN 동작 하나 = 버튼 하나
학습 목표

이 강의가 끝나면

1
기본 6동작 Home·Extend·Retract·Rotate·Up·Down을 목적에 맞게 조작한다.
2
FOUP 열기 Docking → Door Open 순서로 FOUP을 연다.
3
충돌 인터록 확인 팔을 편 채 회전을 시도해 왜 거부되는지 몸으로 안다.
실습 — 도킹·도어오픈 → FOUP 앞 회전 → Extend → Retract → (일부러) 편 채 회전.
01 · 준비

FOUP을 도킹하고 문을 연다

1
Docking FOUP을 Load Port에 안착. 위치가 맞아야 다음이 진행됩니다.
2
Door Open FOUP 문과 장비 문이 함께 열려 내부가 이어집니다.
3
그 다음에야 Extend 문이 닫힌 채 팔을 넣으면 Door 인터록(ALM-301)으로 거부됩니다.
순서가 안전이다 — 도킹 안 된 FOUP, 닫힌 문으로의 진입은 모두 인터록이 막습니다. "왜 안 되지?"의 답은 대개 순서입니다.
02 · 회전과 신축

접고 → 돌고 → 편다

① Retract② Rotate(θ)③ Extend

이 순서가 기본 리듬

어느 스테이션으로 가든 접고 → 돌고 → 편다. 그리고 일을 마치면 반드시 다시 접습니다(Retract).

습관 — 다음 동작 전 "지금 팔이 접혀 있나?"를 먼저 확인.
03 · 금지 동작

편 채 회전 — 충돌 인터록

옆 장치와 충돌
!
ALM-201 Collision Interlock 팔을 편(Extend) 상태에서 회전(Rotate)을 누르면 장비가 즉시 거부합니다.

고장이 아니다

실제 장비와 똑같은 보호입니다. 알람이 떠도 로봇은 멀쩡합니다. Retract 후 회전하면 정상 동작합니다.

일부러 해보기 — 이번 실습에서 이 알람을 고의로 한 번 내보세요. 조건을 몸으로 기억하게 됩니다.
04 · 되돌리기

안전 위치로 복귀 — Retract & Home

일을 마치면 접는다

Pick/Place 뒤에는 반드시 Retract. 편 팔로 이동하면 사고가 납니다.

기준으로 돌아오기

다음 작업 전 Home으로 복귀하면 위치 오차가 쌓이지 않습니다.

정리 리듬 — 접고 → 돌고 → 펴서 작업 → 접고 → Home. 이 한 사이클이 5강 Pick&Place의 뼈대가 됩니다.
01 · 개념

Manual Mode — 한 손에 하나씩

동작 하나 = 버튼 하나

자동 시퀀스와 달리, 수동은 사람이 각 축을 직접 명령합니다. 그래서 "언제 되고 언제 거부되는지"를 몸으로 배우는 데 가장 좋습니다.

왜 수동을 먼저

자동이 멈췄을 때 원인을 찾으려면, 각 동작의 조건을 알아야 합니다. 그 조건은 손으로 눌러봐야 남습니다.

이 강의 목표 — 6개 기본 동작을 목적에 맞게 조합해 FOUP을 열고 팔을 뻗는 한 사이클을 스스로 해내는 것.
02 · 조작 패널

버튼 지도 — 무엇이 어디에

버튼축하는 일
Home전체기준 위치로 복귀
Extend / RetractR팔 펴기 / 접기
Rotateθ스테이션 선택(회전)
Up / DownZ높이(슬롯) 조정
상태바를 같이 보라 — 버튼을 누를 때마다 하단의 R·θ·Z 값이 바뀝니다. 숫자와 동작을 연결해 기억하세요.
03 · 준비

Initialize와 Home은 다르다

1
Initialize 서보 전원·엔코더를 잡아 로봇을 "깨우는" 단계.
2
Home 기준 위치로 이동해 좌표 0점을 확정. Home 센서 ON 확인.
3
순서 고정 Initialize → Home. 건너뛰면 정밀 이동이 거부됩니다.
왜 중요 — Home 없이는 로봇이 자기 위치를 몰라 모든 좌표가 무의미합니다. 3강에서 배운 "기준점"을 실제로 잡는 단계.
04 · 도킹 상세

Docking — 정렬이 다음 전부를 좌우한다

1
정렬 핀 FOUP이 Load Port의 핀에 맞물려 항상 같은 자리에 놓입니다.
2
클램프 고정되어야 문을 열 수 있습니다.
!
어긋나면 도킹 위치가 틀리면 매핑·Pick이 전부 어긋납니다.
기억 — "도킹이 0점을 만든다." 여기가 틀리면 뒤가 다 틀립니다.
05 · 문 열기

Door Open — 공기 없이 이어붙이기

동시에 열린다

FOUP 문과 장비 문이 함께 열려, 바깥 공기가 들어갈 틈 없이 내부가 연결됩니다.

닫힌 채 Extend 금지

문이 닫힌 상태로 팔을 넣으면 ALM-301 Door Interlock으로 거부됩니다.

실습에서 — 일부러 문 닫힌 채 Extend를 눌러 ALM-301을 한 번 내보세요.
06 · θ 상세

Rotate — 접은 채, 최단으로

1
접은 상태 확인 회전 전 반드시 Retract. 편 채 돌면 충돌.
2
스테이션 선택 FOUP·Pre-aligner·Load Lock 중 목표 앞으로.
3
도착 확인 상태바의 STATION 표시와 θ 값으로 확인.
리듬 — Retract → Rotate → (도착) → Extend. 이 순서가 몸에 배면 실수가 준다.
07 · Z 상세

Up / Down — 겨냥은 높이로

1
슬롯 = 높이 몇 번 칸을 집을지가 Z 값으로 정해집니다.
2
Pick의 마무리 팔을 편 뒤 살짝 Up 해 웨이퍼를 들어올립니다.
!
빈 칸 겨냥 잘못된 높이는 Presence OFF 알람으로 이어집니다.
확인 습관 — 매핑 목록에서 "있는 칸"인지 보고 그 높이로 Z를 맞춥니다.
08 · 좌표로 조작

눈이 아니라 숫자로 확인한다

도착의 근거

"팔이 간 것 같다"가 아니라 θ·R·Z 값과 STATION 표시로 도착을 확인합니다.

이상 감지

명령했는데 값이 안 변하면 인터록·정지 신호를 의심합니다. 로그를 봅니다.

연결 — 6강 센서에서 이 값들이 어떤 센서에서 오는지 배웁니다.
09 · 안전 수칙

수동 조작 5대 수칙

1
다닐 땐 접는다 이동 전 Retract.
2
돌기 전 접었나 확인 편 채 회전 금지.
3
문·압력 조건 먼저 조건 없이 진입 금지.
4
신호로 확인 Presence·Home·STATION으로 판정.
5
막히면 로그 안 되면 먼저 하단 로그를 읽는다.
10 · 흔한 실수

이런 실수가 자주 납니다

실수결과고치기
편 채 RotateALM-201Retract 후 회전
문 닫고 ExtendALM-301Door Open 먼저
빈 칸 PickPresence OFF매핑 보고 겨냥
Home 생략이동 거부Init→Home
공통 교훈 — 대부분의 "안 됨"은 고장이 아니라 순서/조건 문제입니다.
실습 미션

4강에서 직접 해볼 것

1
Docking → Door Open FOUP을 붙이고 문을 연다.
2
FOUP 앞 회전 후 Extend 접은 채 돌아 팔을 뻗는다.
3
Retract 복귀 안전 위치까지 접어 돌아온다.
4
충돌 인터록 확인 편 채 회전을 시도해 ALM-201을 낸다.
정리 · 자가 점검

4강에서 남길 것

1
기본 리듬 접고→돌고→펴서 작업→접고→Home.
2
순서가 안전 도킹·도어·인터록은 순서 위반을 막는다.

Q1

Extend가 거부됐다면 먼저 무엇을 확인해야 하나요?

다음 강 — 5강 이송 실습: 이 동작들을 이어 웨이퍼를 실제로 Pick·Place 합니다.