로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 7

Load Port
FOUP 장착과 Slot Mapping

웨이퍼를 꺼내기 전에 어느 칸에 무엇이 있는지 알아야 합니다. 그 목록을 만드는 일이 매핑(Mapping)입니다.
이 강의 — Docking → Door Open → Mapping의 순서와 매핑이 틀리는 경우, 그리고 Door 인터록을 다룹니다.
12345 Map
01 · 순서

반드시 세 단계로만 열립니다

① Docking PORT FOUP 핀에 안착·클램프 ② Door Open 문 개방 ↓ FOUP·장비 문 동시 ③ Mapping 센서가 25칸 스캔 → 목록
순서 위반은 거부 — 도킹 전 개방·문 닫힌 채 Extend는 Door 인터록(ALM-301)으로 막힙니다.
02 · 매핑

25칸을 하나씩 잡지는 않습니다

한 번에 훑는다

매핑 센서가 위아래로 지나가며 각 슬롯에 웨이퍼가 있는지 한 번에 확인해 목록을 만듭니다.

목록이 곧 계획

"1·2·3번에 있음, 4·5번 비었음" — 이 목록으로 Pick 순서를 정합니다.

왜 먼저 매핑? 빈 칸을 Pick하려는 헛수고와 알람을 막기 위해서입니다. 있는 칸만 정확히 집습니다.
03 · 오류

Mapping Error — 목록과 현실이 다를 때

정상 Cross · 두 칸 걸침 Double · 한 칸 2장 Protrude · 튀어나옴
매핑을 믿되 검증하라 — 이 상태로 Pick하면 충돌·낙하. 매핑 결과와 실제 슬롯을 센서 탭에서 비교합니다.
04 · 표준

왜 어느 FOUP이든 맞물릴까

SEMI 표준

FOUP 치수·도킹 높이·슬롯 간격이 표준으로 정해져, 회사가 달라도 같은 Load Port에 맞습니다.

안전 신호(E84 등)

반송장치와 장비가 주고받는 신호로 안전하게 FOUP을 넘깁니다.

시뮬은 단순화 — 25칸을 5칸으로 줄였지만 순서·판정 논리는 실장비와 같습니다.
개요

FOUP을 여는 일이 왜 정교한가

오염을 막으며 연다

문을 여는 순간에도 바깥 공기가 웨이퍼에 닿으면 안 됩니다. 그래서 순서가 엄격합니다.

목록을 먼저 만든다

꺼내기 전에 어느 칸에 무엇이 있는지 알아야 헛손질과 사고를 막습니다.

이 강의 — 도킹·개방·매핑의 원리와, 매핑이 틀리는 경우, Door 인터록을 봅니다.
01 · 도킹

Docking — 항상 같은 자리에 놓기

1
정렬 핀 FOUP이 핀에 물려 매번 동일 위치에 안착.
2
클램프 고정 흔들리지 않게 잠급니다.
!
어긋나면 매핑·Pick 좌표가 전부 틀어집니다.
기억 — 도킹이 이 스테이션의 "0점". 여기가 정확해야 뒤가 정확합니다.
02 · 개방

Door Open — 두 문을 함께

동시 개방

FOUP 문과 장비 문이 맞물려 함께 열려, 그 사이로 외기가 들어갈 틈이 없습니다.

순서 위반

도킹 전 개방·닫힌 채 진입은 인터록으로 거부.

ALM-301 — 문 닫힌 채 Extend 시 Door Interlock. 실습에서 재현해 봅니다.
03 · 매핑 원리

한 번 훑어 목록을 만든다

1
스캔 센서가 위아래로 지나며 각 슬롯을 확인.
2
목록화 "1·2·3 있음, 4·5 비었음" 형태로 기록.
3
계획 수립 있는 칸만, 정해진 순서로 Pick.
왜 먼저 — 빈 칸 Pick(Presence OFF 알람)을 원천 차단합니다.
04 · 매핑 오류

목록과 현실이 다를 때

유형상태위험
Cross두 칸에 걸침Pick 시 충돌
Double한 칸 두 장이중 파지
Protrude덜 들어감위치 이탈
대응 — 이런 상태는 Pick 전에 걸러야 합니다. 매핑 결과와 실제를 센서 탭에서 대조.
05 · 검증

매핑을 믿되, 확인하라

이중 확인

매핑 목록과 실제 슬롯 상태(센서)를 비교해 불일치를 잡습니다.

불일치 처리

어긋나면 재매핑하거나 해당 칸을 건너뜁니다.

실습 — 매핑 후 결과와 실제를 비교하는 항목이 미션에 포함됩니다.
06 · 표준

왜 모든 FOUP이 맞물리나 — 표준

SEMI 규격

FOUP 치수·슬롯 25칸·도킹 높이가 표준화되어 회사가 달라도 호환됩니다.

안전 신호

반송장치와 장비가 정해진 신호로 FOUP을 안전하게 주고받습니다(E84 등).

시뮬 단순화 — 25칸을 5칸으로 줄였지만 순서·판정 논리는 실장비와 같습니다.
07 · 흔한 실수

Load Port에서 자주 나는 문제

증상원인
Extend 거부(ALM-301)Door 미개방
매핑 결과 이상웨이퍼 삐뚤어짐
Pick 후 Presence OFF빈 칸 겨냥
공통 — 순서(도킹→개방→매핑)를 지키면 대부분 예방됩니다.
개념 · FOUP

FOUP은 그냥 상자가 아니다

1
RFID 태그 FOUP마다 ID가 있어, 어떤 로트·공정 이력인지 장비가 읽습니다.
2
질소 퍼지 포트 보관 중 내부를 질소로 유지해 자연산화·수분을 막습니다.
3
기구 표준 25슬롯·핸들·도어 위치가 규격화(호환).
왜 중요 — FOUP이 "웨이퍼 신분증"을 들고 다니므로 잘못된 로트 투입을 막습니다.
개념 · 핸드셰이크

반송장치와 장비의 약속 (E84)

신호로 주고받는다

OHT가 FOUP을 내려놓기 전, 장비와 정해진 신호를 교환해 "받을 준비 됐는지" 확인합니다.

왜 표준

회사가 달라도 이 약속(E84)이 같아 어떤 반송장치·장비끼리도 안전하게 인계됩니다.

안전 — 준비 안 된 장비에 FOUP을 떨어뜨리는 사고를 신호로 원천 차단.
개념 · 매핑 원리

매핑 센서는 어떻게 25칸을 읽나

1
수직 스캔 센서가 위아래로 지나며 각 슬롯 높이에서 반사/차광을 감지.
2
있음/없음/이상 신호 패턴으로 정상·빈칸·겹침(cross)을 구분.
연결 — 6강의 광학 유무센서 원리가 여기에 그대로 쓰입니다.
개념 · 도어

도어 개폐 메커니즘

1
래치 해제 장비 도어가 FOUP 도어를 붙잡아 함께 뒤로 뺍니다.
2
다운 포지션 도어를 아래로 내려 로봇 진입 경로를 엽니다.
!
인터록 도어가 완전히 열리기 전 Extend는 거부(ALM-301).
핵심 — "문이 열렸다"는 신호가 있어야 다음이 허가됩니다.
개념 · FOUP

FOUP은 그냥 상자가 아니다

1
RFID 태그 FOUP마다 ID가 있어, 어떤 로트·공정 이력인지 장비가 읽습니다.
2
질소 퍼지 포트 보관 중 내부를 질소로 유지해 자연산화·수분을 막습니다.
3
기구 표준 25슬롯·핸들·도어 위치가 규격화(호환).
왜 중요 — FOUP이 "웨이퍼 신분증"을 들고 다니므로 잘못된 로트 투입을 막습니다.
개념 · 핸드셰이크

반송장치와 장비의 약속 (E84)

신호로 주고받는다

OHT가 FOUP을 내려놓기 전, 장비와 정해진 신호를 교환해 "받을 준비 됐는지" 확인합니다.

왜 표준

회사가 달라도 이 약속(E84)이 같아 어떤 반송장치·장비끼리도 안전하게 인계됩니다.

안전 — 준비 안 된 장비에 FOUP을 떨어뜨리는 사고를 신호로 원천 차단.
개념 · 매핑 원리

매핑 센서는 어떻게 25칸을 읽나

1
수직 스캔 센서가 위아래로 지나며 각 슬롯 높이에서 반사/차광을 감지.
2
있음/없음/이상 신호 패턴으로 정상·빈칸·겹침(cross)을 구분.
연결 — 6강의 광학 유무센서 원리가 여기에 그대로 쓰입니다.
개념 · 도어

도어 개폐 메커니즘

1
래치 해제 장비 도어가 FOUP 도어를 붙잡아 함께 뒤로 뺍니다.
2
다운 포지션 도어를 아래로 내려 로봇 진입 경로를 엽니다.
!
인터록 도어가 완전히 열리기 전 Extend는 거부(ALM-301).
핵심 — "문이 열렸다"는 신호가 있어야 다음이 허가됩니다.
실습 미션

7강에서 직접 해볼 것

1
Door 인터록 확인 문 닫힌 채 Extend → ALM-301.
2
정상 순서 수행 Docking→Door Open→Mapping.
3
결과 비교 매핑 목록과 실제 슬롯을 센서 탭에서 대조.
완료 기준 — 세 항목 완료 시 7강 종료.
정리 · 자가 점검

7강에서 남길 것

1
세 단계 Docking→Door→Mapping.
2
매핑=계획 있는 칸만 정확히 집는다.

Q1

매핑을 Pick보다 먼저 하는 이유는?

다음 강 — 8강 종합 실습 1: 1~7강을 이어 FOUP→Load Lock 전 구간을 무알람으로 이송합니다.