로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 8

종합 실습 1
여기까지 이어서 해보기

1~7강의 동작을 하나의 흐름으로 잇습니다. FOUP의 웨이퍼 한 장을 알람 없이 Load Lock까지 이송하는 것이 목표입니다.
이 강의는 실습 가이드 — 새 이론은 없습니다. 지금까지 배운 것을 순서표대로 실행하며 몸에 익힙니다.
FOUP ALIGN LOAD LOCK
목표

이번 실습의 성공 기준

1
Mapping까지 완료 FOUP을 열고 목록을 만든다.
2
Pre-aligner 정렬 웨이퍼를 집어 정렬대에 올려 Align한다.
3
Load Lock 도착 정렬된 웨이퍼를 Load Lock까지 이송.
0
알람 0건 전 과정을 인터록 없이 완료.
순서표 · 앞부분

단계별 체크리스트 (1/2)

#동작확인 신호
1EFEM Initialize → HomeHome ON
2FOUP DockingDocked
3Door OpenDoor Open
4Mapping슬롯 목록 생성
5Slot 1 앞 θ 회전 → Extend위치 도달
6Up → Retract (Pick)Presence ON
팁 — 각 단계 뒤에는 항상 확인 신호를 보고 다음으로. "됐겠지"가 아니라 "신호가 떴으니 됐다".
순서표 · 뒷부분

단계별 체크리스트 (2/2)

#동작확인 신호
7θ 회전 → Pre-aligner PlaceAligner Presence ON
8Align (Notch 0°)정렬 완료
9다시 PickPresence ON
10θ 회전 → Load Lock PlaceLL Presence ON
11Retract → HomeHome ON
완료 — Load Lock에 웨이퍼가 놓이고 알람 0이면 종합 실습 1 성공.
막힐 때

알람이 뜨면 — 빠른 점검표

증상먼저 볼 것
Extend가 거부됨Door 열렸나 · 팔 접혔나
회전이 거부됨팔이 편(Extend) 상태인가
Pick 후 Presence OFF빈 슬롯을 겨냥했나
습관 — 안 되면 먼저 하단 로그를 보세요. ALM 코드가 원인을 알려줍니다. (14강에서 본격적으로)
준비

시작 전 점검 — 초기 상태 확인

1
알람 0 이전 알람이 남아 있으면 Reset.
2
로봇 Home Initialize → Home 완료 상태.
3
FOUP 준비 웨이퍼가 든 FOUP이 있는지 확인.
원칙 — 깨끗한 초기 상태에서 시작해야 도중 문제의 원인을 좁힐 수 있습니다.
구간 1 · 대기

FOUP 열고 첫 웨이퍼 집기

1
Docking → Door Open 순서대로.
2
Mapping 있는 칸 확인.
3
Slot Pick 첫 칸에서 Pick → Presence ON.
막히면 Extend 거부 = Door 확인 / 회전 거부 = Retract 확인.
구간 2 · 정렬

Pre-aligner에서 방향 맞추기

1
Place 정렬대에 올린다(Aligner Presence ON).
2
Align Notch 0°로.
3
재-Pick 정렬된 웨이퍼를 다시 집는다.
왜 — 공정 방향을 맞추기 위해 이송 중 반드시 거치는 정거장.
구간 3 · 관문

Load Lock까지 안착

1
θ 회전 접은 채 Load Lock 앞으로.
2
Place Load Lock에 내려놓기(LL Presence ON).
3
Retract → Home 접고 복귀.
완료 — LL에 웨이퍼가 놓이고 알람 0이면 종합 실습 1 성공.
확인

각 구간의 성공 신호 정리

구간확인 신호
대기 Pick로봇 손 Presence ON
정렬Aligner Presence ON · Notch 0°
관문Load Lock Presence ON
복귀Home ON · 알람 0
습관 — 구간마다 신호를 확인하고 다음으로. 신호 없이 넘어가지 않기.
막힐 때

알람별 빠른 대응표

알람의미조치
ALM-201편 채 회전Retract 후 회전
ALM-301문 닫힘Door Open
Presence OFF빈 칸/미파지겨냥·깊이 확인
순서 — 로그에서 코드 확인 → 원인 제거 → Reset → 재시도.
되짚기

무알람 완주가 목표인 이유

알람 0 = 순서 이해

알람 없이 끝났다면 조건·순서를 정확히 지켰다는 뜻입니다.

알람이 났다면

그 지점이 바로 아직 덜 익은 조건. 복습 포인트로 삼습니다.

연결 — 이 수동 완주 경험이 12강 자동 시퀀스의 밑바탕입니다.
개념 · 통합

왜 "이어서" 해보는가

낱개 ≠ 흐름

각 동작을 따로 할 줄 아는 것과, 끊김 없이 이어서 하는 것은 다른 능력입니다.

인수인계

한 스테이션의 결과(정렬된 웨이퍼)가 다음 단계의 입력이 됩니다. 그 연결을 몸에 익힙니다.

관점 — 이송은 "정거장 릴레이". 각 정거장의 완료 신호가 다음의 출발 신호.
개념 · 품질

"알람 0"이 왜 목표인가

1
조건 준수의 증거 무알람 = 순서·조건을 다 지켰다는 뜻.
2
생산성 알람은 곧 정지·지연. 현장에선 가동률로 직결됩니다.
습관 — "됐다"가 아니라 "알람 없이 됐다"를 목표로.
개념 · 흐름 관점

한 장의 여정을 위에서 내려다보기

Load Port → 매핑된 목록 EFEM → 집힌 웨이퍼 Pre-aligner → 방향 맞춘 웨이퍼 Load Lock → 진공 준비 완료
큰 그림 — 각 정거장이 다음을 위해 무엇을 완성해 넘기는지 보면 이송 전체가 하나의 릴레이로 이해됩니다.
개념 · 자기점검

막히면 스스로 묻는 3가지

1
지금 어느 정거장? 현재 상태를 먼저 특정.
2
완료 신호가 떴나? 이전 단계가 진짜 끝났는지.
3
다음 조건은 충족? 문·압력·유무를 확인.
이 습관이 14강 고장 진단의 기초가 됩니다.
개념 · 통합

왜 "이어서" 해보는가

낱개 ≠ 흐름

각 동작을 따로 할 줄 아는 것과, 끊김 없이 이어서 하는 것은 다른 능력입니다.

인수인계

한 스테이션의 결과(정렬된 웨이퍼)가 다음 단계의 입력이 됩니다. 그 연결을 몸에 익힙니다.

관점 — 이송은 "정거장 릴레이". 각 정거장의 완료 신호가 다음의 출발 신호.
개념 · 품질

"알람 0"이 왜 목표인가

1
조건 준수의 증거 무알람 = 순서·조건을 다 지켰다는 뜻.
2
생산성 알람은 곧 정지·지연. 현장에선 가동률로 직결됩니다.
습관 — "됐다"가 아니라 "알람 없이 됐다"를 목표로.
개념 · 흐름 관점

한 장의 여정을 위에서 내려다보기

정거장넘겨주는 것
Load Port매핑된 웨이퍼 목록
EFEM집힌 웨이퍼
Pre-aligner방향 맞춘 웨이퍼
Load Lock진공 준비된 웨이퍼
큰 그림 — 각 정거장이 다음을 위해 무엇을 완성해 넘기는지 보면 흐름이 이해됩니다.
개념 · 자기점검

막히면 스스로 묻는 3가지

1
지금 어느 정거장? 현재 상태를 먼저 특정.
2
완료 신호가 떴나? 이전 단계가 진짜 끝났는지.
3
다음 조건은 충족? 문·압력·유무를 확인.
이 습관이 14강 고장 진단의 기초가 됩니다.
정리

8강에서 남길 것

1
흐름의 완성 낱개 동작이 하나의 이송으로 이어졌다.
2
신호로 진행 매 단계 확인 신호로 다음을 판단.
다음 강 — 9강 정렬: 방금 지나친 Pre-aligner의 원리를 자세히 봅니다.