로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 13

인터록
막는 것이 임무입니다

인터록은 조건이 맞지 않으면 동작을 거부하는 안전장치입니다. 지금까지 흩어져 나온 인터록들을 한자리에 모아 정리합니다.
이 강의 — 네 가지 인터록을 일부러 발생시켜 "고장이 아니라 보호"임을 확실히 이해합니다.
INTERLOCK 조건 불충족 → 거부
01 · 개념

Error는 순서 문제, Timeout은 성능 문제

Error (조건 위반)

"하면 안 되는 것을 하려 함." 문 닫힌 채 Extend, 편 채 회전. 순서·조건이 틀린 것.

Timeout (도달 실패)

"해야 할 것이 시간 내 안 됨." 목표 압력에 못 미침, Home 미완. 성능·상태의 문제.

구분이 진단의 시작 — Error면 순서를 고치고, Timeout이면 상태(압력·정렬 등)를 확인합니다.
02 · 네 가지

대표 인터록 정리

인터록코드막는 상황
DoorALM-301문 닫힘 상태로 진입
VacuumALM-311/314압력 안 맞는데 밸브 개방
CollisionALM-201팔 편 채 회전
PresenceALM-502/504웨이퍼 유무 불일치
공통 성격 — 모두 웨이퍼·장비·사람을 지키기 위한 거부. 알람은 "지금 그거 하면 위험하다"는 경고입니다.
03 · 왜 필요

Door · Vacuum · Presence · Position

D
Door 열린 문 없이 진입하면 오염·충돌. 그래서 막습니다.
V
Vacuum 압력 안 맞는 개방은 진공을 깨거나 웨이퍼를 날립니다.
P
Presence 없는 웨이퍼를 Place, 있는데 또 Pick하면 충돌·낙하.
Po
Position 기준(Home) 없이 정밀 이동은 위험. 그래서 막습니다.
개요

인터록은 왜 존재하나

지키는 것들

웨이퍼(수천만 원), 장비(수십억), 사람. 이 셋을 지키려 위험한 명령을 거부합니다.

거부 = 정상

알람은 고장이 아니라 "지금 그건 위험하다"는 안전 신호.

이 강의 — 네 인터록을 원리와 재현법으로 하나씩 봅니다.
01 · Collision

Collision — 편 채 회전 금지 (ALM-201)

!
왜 팔을 편 채 돌면 옆 장치와 충돌.
✓
지키기 회전 전 Retract 확인.
재현 — Extend 상태에서 Rotate를 눌러 ALM-201을 확인.
02 · Door

Door — 닫힌 문으로 진입 금지 (ALM-301)

!
왜 문 닫힘 상태 진입은 충돌·오염.
✓
지키기 Docking → Door Open 후 Extend.
재현 — 문 닫은 채 Extend → ALM-301.
03 · Vacuum

Vacuum — 압력 안 맞는 개방 금지 (ALM-314)

!
왜 대기압에서 진공측 개방은 진공 붕괴·웨이퍼 비산.
✓
지키기 목표 압력 도달 후에만 밸브 개방.
재현 — 대기압에서 TM 밸브 개방 → ALM-314.
04 · Presence

Presence — 유무 불일치 금지 (ALM-502/504)

!
왜 없는 웨이퍼 Place·있는데 또 Pick → 충돌·낙하.
✓
지키기 매핑·Presence로 상태 확인 후 동작.
재현 — 빈 칸 Pick 또는 웨이퍼 든 채 Pick 재시도.
05 · Error vs Timeout

거부에도 두 종류가 있다

Error(순서)

하면 안 되는 걸 시도. 시작에서 즉시 거부. → 순서·조건을 고친다.

Timeout(성능)

해야 할 게 시간 내 안 됨. → 상태·장치를 확인한다.

구분이 진단 — 14강 고장 진단의 출발점입니다.
06 · 철학

안전은 중복으로 설계한다

여러 겹

소프트 리밋·센서·기구 스토퍼처럼, 하나가 실패해도 다음이 잡도록 겹칩니다.

한 줄 — 인터록은 "막아서 지킨다". 잘 막히는 장비가 좋은 장비.
개념 · 계층

안전은 두 층으로 — 하드와이어와 소프트

하드와이어 인터록

배선·릴레이로 물리 차단. 소프트웨어가 죽어도 동작. 최후의 안전.

소프트 인터록

제어기 로직이 조건을 검사해 명령을 거부. 유연하지만 SW에 의존.

왜 둘 다 — 소프트가 놓쳐도 하드가 잡도록 이중으로 설계.
개념 · Fail-safe

고장 나면 "안전한 쪽"으로

1
정전 시 밸브는 닫힘, 로봇은 정지 — 위험을 만들지 않는 상태로.
2
신호 끊김 시 "모름"을 "위험"으로 간주해 멈춤.
원칙 — 애매하면 진행이 아니라 정지. 웨이퍼·사람이 우선.
개념 · 구분

인터록과 알람은 다르다

인터록

위험한 동작을 미리 막는 예방 장치.

알람

일어난 이상을 알리는 통지. 인터록이 걸리면 알람도 함께 뜹니다.

정리 — 인터록 = 브레이크, 알람 = 경고등.
개념 · 문화

인터록을 우회하지 않는다

!
임의 해제 금지 "귀찮다고" 인터록을 끄면 사고로 직결.
✓
원인 제거 막혔으면 조건을 맞추지, 안전장치를 끄지 않습니다.
현장 원칙 — 안전장치가 자주 걸리면 "장치를 끄기"가 아니라 "절차를 고치기".
개념 · 계층

안전은 두 층으로 — 하드와이어와 소프트

하드와이어 인터록

배선·릴레이로 물리 차단. 소프트웨어가 죽어도 동작. 최후의 안전.

소프트 인터록

제어기 로직이 조건을 검사해 명령을 거부. 유연하지만 SW에 의존.

왜 둘 다 — 소프트가 놓쳐도 하드가 잡도록 이중으로 설계.
개념 · Fail-safe

고장 나면 "안전한 쪽"으로

1
정전 시 밸브는 닫힘, 로봇은 정지 — 위험을 만들지 않는 상태로.
2
신호 끊김 시 "모름"을 "위험"으로 간주해 멈춤.
원칙 — 애매하면 진행이 아니라 정지. 웨이퍼·사람이 우선.
개념 · 구분

인터록과 알람은 다르다

인터록

위험한 동작을 미리 막는 예방 장치.

알람

일어난 이상을 알리는 통지. 인터록이 걸리면 알람도 함께 뜹니다.

정리 — 인터록 = 브레이크, 알람 = 경고등.
개념 · 문화

인터록을 우회하지 않는다

!
임의 해제 금지 "귀찮다고" 인터록을 끄면 사고로 직결.
✓
원인 제거 막혔으면 조건을 맞추지, 안전장치를 끄지 않습니다.
현장 원칙 — 안전장치가 자주 걸리면 "장치를 끄기"가 아니라 "절차를 고치기".
실습 미션

13강에서 직접 해볼 것 — 네 인터록 발생

1
Door 문 닫은 채 Extend → ALM-301.
2
Vacuum 대기압에서 밸브 개방 → ALM-311/314.
3
Presence 웨이퍼 관련 알람 발생.
4
서로 다른 4종 인터록을 모두 경험한다.
정리 · 자가 점검

13강에서 남길 것

1
거부=보호 인터록은 고장이 아니다.
2
Error vs Timeout 순서 문제 / 성능 문제.

Q1

ALM-201(Collision)과 ALM-314(Vacuum)는 각각 무엇을 막나요?

다음 강 — 14강 고장 진단: 이 알람 로그를 읽어 원인을 추적합니다.