로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 14

고장 진단
알람 로그 분석

장비가 멈추면 로그가 답을 알고 있습니다. 고장을 주입하고, 로그·센서로 원인을 추정해 보고서로 정리합니다.

이 강의는 실습 가이드 — 새 이론보다 "로그를 이렇게 읽는다 · 원인을 이렇게 좁힌다"의 방법을 익힙니다.

개요

고장 진단은 추리다

증거 → 원인

로그와 센서라는 증거로 원인을 좁혀갑니다. 감이 아니라 신호로.

순서가 있다

등급 → 코드 → 메시지 → 직전 동작. 이 순서로 읽으면 대개 풀립니다.

이 강의 — 로그 읽기, 원인 좁히기, 복구, 보고까지 방법을 익힙니다.

01 · 읽는 법

로그 한 줄을 이렇게 읽는다

등급 [E] 오류 · [W] 경고 · [I] 정보 · [S] 완료. E부터 봅니다.

코드 ALM-3xx = 도어·진공, 2xx = 충돌, 5xx = 웨이퍼. 첫 자리가 부위를 알려 줍니다.

메시지 "제한시간(9초) 내 목표 압력 미도달"처럼 무엇이 실패했는지를 한국어로 말해 줍니다.

맥락 로그는 최신이 위. [E] 바로 아래 줄이 직전 동작입니다.

개념도 — 실제 문구는 시뮬레이터 로그 탭에서 확인하세요.

02 · 좁히기

Error인가 Timeout인가

단서	Error(순서)	Timeout(성능)
언제	동작 시작에 거부	동작 중 미달
예	편 채 회전(201), 닫힌 문(301), Home 전 이동(102)	Pump Down 9초 초과(701)
먼저 볼 것	순서·조건	상태·장치

13강 연결 — Error/Timeout 구분이 곧 수리 방향을 정합니다.

03 · 복구

원인 제거 → Reset → 재시도

원인 제거 순서를 바로잡거나 상태(압력·정렬)를 회복. 실습에선 이 단계가 "고장 부품 교체"입니다.

Reset 고장 진단 탭의 Reset. 알람과 주입한 고장 상태가 함께 해제됩니다.

재정렬 로그 안내대로 Initialize → Home부터 다시.

재시도 같은 동작이 이번엔 통과하는지 확인 → 보고서 Result 칸.

금지 — 원인 제거 없이 Reset만 반복하면 같은 알람이 또 납니다. "왜"를 먼저 지웁니다.

04 · 보고

고장은 여섯 칸으로 정리합니다

칸	내용	채점
Problem	무슨 일이 있었나	증상 단어
Observed Sensor	센서 탭에서 본 것	센서 이름·값
Observed Log	알람 로그에서 본 것	알람 코드
Possible Cause	추정 원인	선택지에서 고름 · 정답이어야
Corrective Action	취한 조치	교체·보정·점검 등
Result	복구 여부	정상·복구·통과 등

합격 기준

원인 정답 + 나머지 다섯 칸 중 4칸 이상에 핵심 요소. 서술 솜씨는 보지 않습니다.

현장 보고서에는 여기에 Prevent(재발 방지) 칸을 하나 더 둡니다. 시뮬레이터 채점에는 없지만 06 · 예방에서 다룹니다.

01 · 코드 체계

알람 코드가 부위를 알려준다

코드대	부위	예	먼저 볼 곳
1xx	로봇 상태	101 Init 전 · 102 Home 전	상태바 INIT/HOME
2xx	충돌	201 편 채 회전	Home Sensor
3xx	도어 · 진공	301 도어 · 314 진공	Door / Pressure Sensor
4xx	위치 · 한계	401 Z 한계 · 405 θ 편차	Position Sensor · Encoder
5xx	웨이퍼 유무	502 빈 곳 · 503 센서 · 505 사라짐	Wafer Presence · Slot Mapping
6xx	공정 · 정렬	601 공정 중 반출 · 602 정렬 중	PM Status
7xx	시간 초과	701 Vacuum Timeout	Pressure Sensor

요령 — 코드 앞자리만 봐도 어디를 볼지 정해집니다. 오른쪽 칸이 곧 보고서의 Observed Sensor입니다.

02 · 진단 흐름

네 단계로 좁힌다

대개 여기서 원인이 드러납니다. 부족하면 센서 값을 추가로 봅니다.

03 · 시나리오 A

사례 — 배기가 끝나지 않는다 (ALM-701)

증상 [E] ALM-701 Vacuum Timeout. 압력이 수십 Torr에서 멈춥니다.

후보 펌프 성능 저하 · 진공 누설 — 여기까지는 똑같습니다.

가르는 관찰 배기가 멈춘 뒤 압력을 지켜봅니다. 올라가면 누설, 머물면 펌프.

Timeout류 — 순서가 아니라 설비 문제. Pressure Sensor가 증거입니다. 훈련 ①이 이 사례입니다.

배기 정지 이후의 압력 곡선이 두 원인을 가릅니다(개념도).

04 · 시나리오 B

사례 — 웨이퍼가 안 잡히거나 사라진다

보이는 것	로그	원인	확인 방법
웨이퍼가 있는 칸인데 Pick이 끝나지 않음	ALM-503	Presence 센서 불량	화면엔 웨이퍼가 있는데 센서는 OFF
집혔다가 이송 중에 사라짐	ALM-505	End Effector 흡착 불량	Pick은 성공, 이동 뒤 Presence OFF
매핑엔 있는 칸인데 빈 곳이라 함 · 다른 웨이퍼가 집힘	ALM-502	Z축 티칭 틀어짐	옆 칸에서 Pick 해 보기 · 집힌 웨이퍼 ID
매핑 결과와 실제 슬롯이 다름	[W] MAP 불일치	매핑 센서 신호 불일치	Load Port 탭 실제 슬롯과 비교

핵심 질문 — "안 집히나, 집혔다 사라지나, 엉뚱한 걸 집나?" 이 하나로 후보 넷이 하나로 줄어듭니다.

05 · 고장 7종

시뮬레이터가 주입하는 고장 일곱 가지

고장	나타나는 모습	로그 단서	센서 단서
펌프 성능 저하	배기가 목표에 못 닿음	ALM-701	Pressure — 멈추면 머묾
진공 누설	배기가 못 닿고, 멈추면 압력 상승	ALM-701	Pressure — 멈추면 오름
매핑 신호 불일치	매핑 결과 ≠ 실제 슬롯	[W] MAP	Slot Mapping
Presence 센서 불량	있는데 Pick 완료 안 됨	ALM-503	Wafer Presence
흡착 불량	이송 중 웨이퍼 분실	ALM-505	Wafer Presence
Encoder θ 편차	회전 후 각도 어긋남 → Extend 거부	ALM-405	Position · Encoder
Z축 티칭 틀어짐	겨냥한 칸 ≠ 실제 닿는 칸	ALM-502	Slot Mapping · Presence

세부값은 주입할 때마다 바뀝니다 — 편차 각도, 어긋난 칸 방향이 매번 달라 답을 외울 수 없습니다. 관찰로 가르세요.

06 · 예방

같은 고장을 두 번 겪지 않기

기록으로 남긴다

원인·조치를 보고서로 남기면 다음 사람이 빨리 해결합니다.

절차 보완

순서 문제였다면 체크리스트/시퀀스에 확인 단계를 추가(13강 IF).

주기 점검 오링·필터·펌프를 수명 전에 교체.

추세 관찰 Pump 시간이 점점 길어지면 누설 전조. 10강 훈련 ③의 정상 배기 시간(약 3초)이 기준선.

현장 — 좋은 엔지니어는 고친 뒤 재발 방지까지 적습니다. 알람을 "겪고 고치기"에서 "예측하고 막기"로.

개념 · RCA

근본 원인까지 — 왜를 다섯 번

표면 ≠ 근본

"Pump timeout"은 증상. 왜? 압력 미달 → 왜? 누설 → 왜? 오링 손상 → 근본 원인.

왜를 반복

"왜?"를 몇 번 더 물으면 진짜 원인에 닿습니다.

목표 — 증상만 지우면 재발. 근본을 고쳐야 끝납니다.

개념 · 로그 등급

[I] · [W] · [E]를 나눠 읽는다

등급	뜻	대응
[I]	정보	흐름 파악
[W]	경고	주의·예방
[E]	오류 · 알람 코드	즉시 조치
[S]	완료 (진공 도달 · 공정 완료 · 보고서 합격)	정상 확인 · Result 근거

요령 — [E]부터 역으로 타고 올라가며 맥락을 읽습니다.

개념 · 지표

MTTR과 가동률

MTTR 평균 복구 시간. 진단이 빠를수록 짧아집니다.

가동률 장비가 실제 생산한 시간 비율. 알람·정지가 갉아먹습니다.

왜 진단 실력 — 빠른 진단 = 짧은 MTTR = 높은 가동률 = 돈.

진단의 핵심

증상 하나에 원인이 여럿일 때

진단이 어려운 이유는 증상이 많아서가 아니라, 한 증상에 후보가 여럿이기 때문입니다. 그래서 "관찰 → 원인"이 한 번에 되지 않고, 후보를 가르는 실험을 하나 더 해야 합니다.

같은 증상	후보 원인
배기가 목표에 닿지 않는다	펌프 성능 저하 · 진공 누설
Pick 이 안 되거나 웨이퍼를 잃는다	Presence 센서 불량 · 흡착 불량 · Z축 티칭 틀어짐
위치가 이상하다	Encoder 편차 · Z축 티칭 틀어짐

알람 코드는 원인이 아니라 현상입니다. ALM-701 은 "제한 시간 안에 목표 압력에 못 닿았다"는 사실만 말합니다. 펌프가 약한 것인지 어딘가 새는 것인지는 말해 주지 않습니다.

가르는 실험 — 배기 쪽

배기를 멈추고 압력을 지켜봅니다. 스스로 올라가면 누설, 그 자리에 머물면 펌프 성능입니다. 관찰 한 번으로 후보 둘이 하나로 줄어듭니다.

가르는 실험 — 집기 쪽

집히지 않는가, 집혔다가 사라지는가를 봅니다. 전자는 센서 쪽, 후자는 흡착 쪽입니다. 매핑은 맞는데 있는 칸에서 실패한다면 티칭입니다.

좋은 관찰은 후보를 절반으로 줄입니다. 훈련 ③의 기록이 조작 횟수인 이유가 이것입니다 — 다 해보는 사람과 가르는 관찰만 하는 사람의 차이가 숫자로 남습니다.

실습 미션

14강에서 직접 해볼 것

고장 주입 시나리오를 1개 이상 넣는다.

로그 확인 알람 코드를 찾는다.

Reset 복구 원인 제거 후 재시도.

보고서 채점 합격 원인(Possible Cause)을 고르고 나머지 다섯 칸을 채운다.

진단 훈련 3개 ① 증상이 같은 둘 가르기 · ② 무엇인지 모르는 고장 하나 · ③ 연속 세 건.

보고서는 서술을 읽어 채점하지 않습니다. 원인은 선택지에서 고르고, 나머지 칸은 핵심 요소가 들어갔는지만 봅니다 — 센서 칸에는 관찰한 센서 이름을, 로그 칸에는 알람 코드를 적으세요. 원인 정답 + 요소 4개 이상이면 합격입니다.

정리 · 자가 점검

14강에서 남길 것

로그가 답 등급→코드→메시지→맥락.

원인 먼저, Reset 나중.

가르는 관찰 같은 증상은 관찰 하나를 더 해서 가른다.

Q1 · Q2 · Q3

① Reset만 반복하면 안 되는 이유는? → 원인이 남아 같은 알람이 또 난다.
② ALM-701에서 펌프와 누설을 가르는 관찰은? → 배기 정지 후 압력이 오르는가.
③ Pick 뒤 이송 중 웨이퍼가 사라지면(505) 의심할 원인은? → End Effector 흡착 불량.

다음 강 — 15강 종합 실습 2: 전 구간 자동 이송 중 오류를 진단·복구합니다.

고장 진단알람 로그 분석