로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 14

고장 진단
알람 로그 분석

장비가 멈추면 로그가 답을 알고 있습니다. 고장을 주입하고, 로그·센서로 원인을 추정해 보고서로 정리합니다.
이 강의는 실습 가이드 — 새 이론보다 "로그를 이렇게 읽는다 · 원인을 이렇게 좁힌다"의 방법을 익힙니다.
[I] BOOT ready [W] ALM-314 Vacuum Interlock [E] Pump timeout — target not reached [I] Reset [I] Pump Down retry [I] target 0.01 Torr OK
01 · 읽는 법

로그 한 줄을 이렇게 읽는다

1
등급 [I] 정보 · [W] 경고 · [E] 오류. E부터 봅니다.
2
코드 ALM-3xx=압력/문, 2xx=충돌, 5xx=웨이퍼. 코드가 부위를 알려줍니다.
3
메시지 "target not reached" 처럼 무엇이 실패했는지를 말해줍니다.
순서 — 등급(E) → 코드(부위) → 메시지(원인) → 직전 동작(맥락). 이 넷이면 대개 원인이 좁혀집니다.
02 · 좁히기

Error인가 Timeout인가

단서Error(순서)Timeout(성능)
언제동작 시작에 거부동작 중 미달
예편 채 회전, 닫힌 문압력 미달, Home 미완
먼저 볼 것순서·조건상태·장치
13강 연결 — Error/Timeout 구분이 곧 수리 방향을 정합니다.
03 · 복구

Reset하고, 원인을 제거하고, 재시도

1
원인 제거 순서를 바로잡거나 상태(압력·정렬)를 회복.
2
Reset 알람을 해제한다.
3
재시도 같은 동작이 이번엔 통과하는지 확인.
금지 — 원인 제거 없이 Reset만 반복하면 같은 알람이 또 납니다. "왜"를 먼저 지웁니다.
04 · 보고

고장은 여섯 칸으로 정리합니다

항목내용
Problem무슨 일이 있었나
Observed로그·센서로 본 것
Cause추정 원인
Action취한 조치
Result복구 여부
Prevent재발 방지
현장 그대로 — 실제 엔지니어도 이 틀로 보고합니다. 로그 캡처와 함께 남기면 다음 사람이 빨리 이해합니다.
개요

고장 진단은 추리다

증거 → 원인

로그와 센서라는 증거로 원인을 좁혀갑니다. 감이 아니라 신호로.

순서가 있다

등급 → 코드 → 메시지 → 직전 동작. 이 순서로 읽으면 대개 풀립니다.

이 강의 — 로그 읽기, 원인 좁히기, 복구, 보고까지 방법을 익힙니다.
01 · 코드 체계

알람 코드가 부위를 알려준다

코드대부위예
2xx로봇 동작201 충돌
3xx문·압력301 도어 · 314 진공
4xx축 한계401 리밋
5xx웨이퍼 유무502/504 Presence
요령 — 코드 앞자리만 봐도 어디를 볼지 정해집니다.
02 · 진단 흐름

네 단계로 좁힌다

① 등급[E] 오류부터 ② 코드부위 파악 (3xx=압력…) ③ 메시지무엇이 실패했나 ④ 맥락직전 동작은?
대개 여기서 원인이 드러납니다. 부족하면 센서 값을 추가로 봅니다.
03 · 시나리오 A

사례 — Pump Timeout

증상
[E] 목표 압력 미도달.
추정
누설 또는 펌프 성능.
조치
밸브 상태·누설 점검 후 재-Pump.
Timeout류 — 순서가 아니라 상태·장치 문제. 압력 센서를 본다.
04 · 시나리오 B

사례 — Pick 실패

증상
Pick 후 Presence OFF.
추정
빈 칸 겨냥 또는 얕은 Extend.
조치
매핑 재확인·깊이 조정 후 재-Pick.
Error/겨냥류 — 순서·위치 문제. 매핑과 좌표를 본다.
05 · 복구

원인 제거 → Reset → 재시도

1
원인 제거 순서/상태를 바로잡는다.
2
Reset 알람 해제.
3
재시도 통과하는지 확인.
금지 — 원인 없이 Reset만 반복하면 같은 알람이 또 납니다.
06 · 예방

같은 고장을 두 번 겪지 않기

기록으로 남긴다

원인·조치를 보고서로 남기면 다음 사람이 빨리 해결합니다.

절차 보완

순서 문제였다면 체크리스트/시퀀스에 확인 단계를 추가.

현장 — 좋은 엔지니어는 고친 뒤 재발 방지까지 적습니다.
개념 · RCA

근본 원인까지 — 왜를 다섯 번

표면 ≠ 근본

"Pump timeout"은 증상. 왜? 압력 미달 → 왜? 누설 → 왜? 오링 손상 → 근본 원인.

왜를 반복

"왜?"를 몇 번 더 물으면 진짜 원인에 닿습니다.

목표 — 증상만 지우면 재발. 근본을 고쳐야 끝납니다.
개념 · 로그 등급

[I] · [W] · [E]를 나눠 읽는다

등급뜻대응
[I]정보흐름 파악
[W]경고주의·예방
[E]오류즉시 조치
요령 — [E]부터 역으로 타고 올라가며 맥락을 읽습니다.
개념 · 지표

MTTR과 가동률

1
MTTR 평균 복구 시간. 진단이 빠를수록 짧아집니다.
2
가동률 장비가 실제 생산한 시간 비율. 알람·정지가 갉아먹습니다.
왜 진단 실력 — 빠른 진단 = 짧은 MTTR = 높은 가동률 = 돈.
개념 · 예방

고치기보다 안 나게 — 예방 정비

1
주기 점검 오링·필터·펌프를 수명 전에 교체.
2
추세 관찰 Pump 시간이 점점 길어지면 누설 전조.
성숙한 현장 — 알람을 "겪고 고치기"에서 "예측하고 막기"로.
개념 · RCA

근본 원인까지 — 왜를 다섯 번

표면 ≠ 근본

"Pump timeout"은 증상. 왜? 압력 미달 → 왜? 누설 → 왜? 오링 손상 → 근본 원인.

왜를 반복

"왜?"를 몇 번 더 물으면 진짜 원인에 닿습니다.

목표 — 증상만 지우면 재발. 근본을 고쳐야 끝납니다.
개념 · 로그 등급

[I] · [W] · [E]를 나눠 읽는다

등급뜻대응
[I]정보흐름 파악
[W]경고주의·예방
[E]오류즉시 조치
요령 — [E]부터 역으로 타고 올라가며 맥락을 읽습니다.
개념 · 지표

MTTR과 가동률

1
MTTR 평균 복구 시간. 진단이 빠를수록 짧아집니다.
2
가동률 장비가 실제 생산한 시간 비율. 알람·정지가 갉아먹습니다.
왜 진단 실력 — 빠른 진단 = 짧은 MTTR = 높은 가동률 = 돈.
개념 · 예방

고치기보다 안 나게 — 예방 정비

1
주기 점검 오링·필터·펌프를 수명 전에 교체.
2
추세 관찰 Pump 시간이 점점 길어지면 누설 전조.
성숙한 현장 — 알람을 "겪고 고치기"에서 "예측하고 막기"로.
실습 미션

14강에서 직접 해볼 것

1
고장 주입 시나리오를 1개 이상 넣는다.
2
로그 확인 알람 코드를 찾는다.
3
Reset 복구 원인 제거 후 재시도.
4
보고서 6칸 모두 작성한다.
정리 · 자가 점검

14강에서 남길 것

1
로그가 답 등급→코드→메시지→맥락.
2
원인 먼저, Reset 나중.

Q1

Reset만 반복하면 안 되는 이유는?

다음 강 — 15강 종합 실습 2: 전 구간 자동 이송 중 오류를 진단·복구합니다.