로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 15

종합 실습 2
전 구간 자동 이송과 오류 복구

마지막입니다. 시퀀스로 FOUP → 공정 챔버 전 구간을 자동 이송하고, 도중에 생긴 오류를 스스로 진단·복구합니다.
이 강의는 실습 가이드 — 1~14강 전부를 하나의 흐름으로 합칩니다. 새 개념은 없고, 통합과 응용입니다.
FOUP EFEM LL TM+PM
목표

이번 실습의 성공 기준

1
시퀀스로 Load Lock까지 자동 실행으로 웨이퍼를 보낸다.
2
진공 이송 Pump Down·Gate Valve를 거쳐 공정 챔버까지.
3
오류 대응 도중 발생한 알람을 진단·복구해 완주한다.
4
보고 고장을 하나 주입해 진단하고, 6칸 보고서로 채점받는다.
순서표

전 구간 체크리스트

구간핵심 동작확인
준비SELECT efem → Initialize → Home상태바 INIT · HOME
대기Dock → Door Open → Map → Slot → Move FOUP → Extend → Pick → RetractWafer Presence ON
정렬Move Aligner → Extend → Place → Retract → Align → Extend → Pick → Retract"정렬 완료" 로그 (도중 Pick은 602)
관문ATM VALVE 열기 → Move LL → Extend → Place → Retract → ATM VALVE 닫기 → PUMPCHECK vacuum · 1.0E-2 Torr
진공TM VALVE 열기 → SELECT vac → Initialize → Home → Move LL → Extend → Pick → RetractWafer Presence ON
공정Move PM1/PM2 → Extend → Place → RetractPM Status 공정 중
밸브 블록은 토글 — ATM VALVE를 한 번 누르면 열리고 한 번 더 누르면 닫힙니다. 12강 예시 시퀀스(26블록)는 관문까지이고, 여기에 진공 구간을 이어 붙이면 전 구간입니다.
응용

막히면 — 코드로 어느 강인지 찾는다

알람증상어느 강조치
ALM-101 / 102진공 로봇이 안 움직임3 · 11강SELECT vac 후 Initialize → Home
ALM-201회전 거부3 · 4 · 13강Retract 후 회전
ALM-303 / 304Load Lock으로 못 뻗음10 · 11강해당 쪽 밸브 먼저 열기
ALM-311 / 314밸브 거부10 · 13강Vent / Pump Down 완료 후
ALM-502 / 503 / 505Pick 실패 · 웨이퍼 분실5 · 6 · 14강겨냥 · Presence · 흡착 확인
ALM-601 / 602꺼내기 거부9 · 11강공정 · 정렬 완료 기다리기
ALM-701Pump Timeout10 · 14강펌프 / 누설 가르고 조치
이게 이 과정의 목적 — 알람 앞에서 당황하지 않고 어느 강의 지식으로 풀지 아는 것.
준비

전 구간 자동 이송 — 시작 전 점검

1
초기화 알람 0 · EFEM 로봇 Home. 진공 로봇은 전환 뒤 따로 Init/Home.
2
FOUP 웨이퍼 적재 확인.
3
시퀀스 FOUP→Chamber 블록 준비.
4
Load Lock 대기압(760 Torr) · 양쪽 밸브 닫힘에서 시작.
목표 — 자동으로 전 구간을 돌리고, 도중 오류를 진단·복구해 완주.
01 · 시퀀스

전 구간 블록 구성

구간블록
준비SELECT efem · INIT · HOME
대기DOCK · DOOR OPEN · MAP · SLOT 1 · MOVE foup · EXTEND · PICK · RETRACT · CHECK wafer
정렬MOVE aligner · EXTEND · PLACE · RETRACT · ALIGN · EXTEND · PICK · RETRACT
관문ATM VALVE · MOVE ll · EXTEND · PLACE · RETRACT · ATM VALVE · PUMP · CHECK vacuum
진공TM VALVE · SELECT vac · INIT · HOME · MOVE ll · EXTEND · PICK · RETRACT · MOVE pm2 · EXTEND · PLACE · RETRACT
포인트 — 블록 사이 기다림은 시퀀스가 알아서 합니다(정렬·배기 끝까지 최대 12초). CHECK wafer · CHECK vacuum은 조건이 틀리면 그 자리에서 멈춥니다.
02 · 실행

돌리며 지켜보기

1
진행 관찰 어느 블록을 수행 중인지 본다.
2
상태바 압력·좌표·알람 수를 주시.
멈추면 — 멈춘 블록과 로그를 즉시 확인(14강 방식).
03 · 오류 대응

주입된 고장을 풀어낸다 — 채점은 Reset 전에

1
주입 고장 진단 탭에서 고장 하나(또는 무작위 고장)를 넣고 전 구간을 돌립니다.
2
관찰 멈춘 블록 · [E] 코드 · 센서 값을 적습니다(14강 방식).
3
보고서 채점 원인을 고르고 다섯 칸을 채워 채점.
4
Reset → 재시도 고장이 해제되고, Init/Home부터 다시 완주.
순서 주의 — 보고서 채점은 주입된 고장이 살아 있을 때만 됩니다. Reset을 먼저 누르면 "먼저 고장을 주입하고 관찰하세요"가 뜹니다.

무작위 고장

어떤 고장인지 모르는 상태로 시작하면 14강 훈련 ②와 같은 진짜 진단이 됩니다. 편차 각도·어긋난 칸은 넣을 때마다 바뀝니다.

04 · 보고

겪은 오류를 6칸으로 정리

칸내용
Problem무슨 일 — 어느 블록에서 무엇이 멈췄나
Observed Sensor센서 탭 값 (Pressure · Wafer Presence · Position …)
Observed Log알람 코드 (ALM-701 · 503 · 505 · 405 …)
Possible Cause선택지에서 원인 고르기 — 정답이어야 합격
Corrective Action조치 (교체 · 보정 · 점검 · Reset)
Result복구 여부 (재시도 통과)
합격 — 원인 정답 + 다섯 칸 중 4칸 이상. 현장 양식엔 Prevent(재발 방지)까지 적고 로그 캡처를 곁들입니다.
05 · 완주

성공 기준 재확인

1
공정 챔버 도착 웨이퍼가 PM에 안착.
2
오류 복구 발생한 알람을 모두 해결.
3
보고 완료 6칸 보고서 채점 합격.
4
프로그래밍 과제 ① 무인 자동 · ③ 처리량 통과.
이 셋을 채우면 — 과정 수료.
되돌아보기

이 과정이 준 세 가지 눈

1
구조를 보는 눈 웨이퍼의 여정과 장치 배치.
2
신호를 읽는 눈 센서·로그로 상태 판단.
3
문제를 푸는 눈 인터록·고장을 순서로 해결.
이제 — 실제 장비 화면을 봐도 "무엇이·왜·어떻게"가 읽힙니다.
개념 · 위치

전체 공정에서 이송의 자리

이송은 혈관

산화·리소·식각·증착… 모든 공정 사이를 웨이퍼가 오갑니다. 그 이동을 책임지는 게 이송.

멈추면 다 멈춘다

이송이 서면 뒤의 모든 공정이 굶습니다. 그래서 신뢰성이 생명.

큰 그림 — 이송은 눈에 안 띄지만 팹 전체의 흐름을 좌우합니다.
개념 · 지표

수율과 가동률로 말한다

1
수율 이송의 오염·정렬 오차가 곧 불량률.
2
가동률 알람·정지가 적을수록 생산 시간↑.
엔지니어의 언어 — "잘한다"는 결국 수율·가동률 숫자로 증명됩니다.
개념 · 역할

현장 엔지니어는 무엇을 하나

1
운전·감시 레시피대로 도는지, 알람은 없는지.
2
진단·복구 이상 시 로그로 원인 찾고 복구.
3
개선 재발 방지·절차 보완.
이 과정이 그 세 가지를 축소판으로 연습시킨 것입니다.
개념 · 다음

여기서 어디로 더 갈까

1
실장비 매뉴얼 실제 장비 매뉴얼과 알람 리스트를 이 틀(코드 계열 → 센서 → 원인)로 읽으면 빠르게 익힙니다.
2
공정 과목 각 챔버 안에서 무슨 일이 일어나는지.
3
자동화·SW 시퀀스·호스트 통신 심화.
수고하셨습니다 — 웨이퍼 한 장의 여정을 처음부터 끝까지 익혔습니다.
실습 미션

15강에서 직접 해볼 것

1
Load Lock까지 시퀀스로 웨이퍼를 보낸다.
2
Process Chamber까지 진공 로봇으로 이송을 마친다.
3
알람 복구와 보고서 발생한 알람을 풀고, 원인을 골라 보고서를 채점받는다.
4
전 구간 무인 자동 사람 손을 대지 않고 FOUP에서 Chamber까지 보내는 프로그램을 완성한다.
완료 기준 — Chamber 도착 · 보고서 채점 합격 · 과제 ①과 ③ 통과. ②는 75초 이내면 통과, 그 뒤는 기록 도전. 세 과제 모두 알람 0건이어야 합니다.

과제 ① 전 구간 무인 자동

대기 로봇이 Load Lock에 놓고 → 대기측 밸브를 닫고 → 배기하고 → 진공측 밸브를 열고 → SELECT vac 으로 로봇을 바꿉니다. 압력이 내려갈 때까지 기다려야 하므로 WHILE 과 pressure() 를 씁니다.

과제 ② 사이클 타임

①과 같은 결과를 더 짧은 시간에 냅니다. 필요 없는 이동과 대기를 지우는 것이 과제입니다. 시간이 기록으로 남으므로 여러 번 도전해 줄여 보세요.

과제 ③ 처리량 — 두 장을 겹쳐 돌린다

두 장을 공정까지 마치고 FOUP으로 되돌립니다. 한 장을 끝까지 처리하고 다음을 시작하면 챔버가 놉니다. PM1은 10초, PM2는 22초 — 긴 챔버를 먼저 채우고 그동안 둘째 장을 올리면 두 공정이 겹칩니다. pmBusy(n)·pmDone(n)·pmLeft(n)으로 챔버를 읽으세요.

마무리

이 과정에서 남길 것

1
웨이퍼의 여정 FOUP에서 공정 챔버까지 전 구간을 안다.
2
구동·감지·제어 로봇·센서·인터록을 손으로 다뤘다.
3
자동화와 진단 시퀀스를 짜고, 로그로 고장을 푼다.
수고하셨습니다. 이제 실제 장비의 이송 화면을 봐도 "무엇이·왜·어떻게"가 읽힐 것입니다.