로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 15

종합 실습 2
전 구간 자동 이송과 오류 복구

마지막입니다. 시퀀스로 FOUP → 공정 챔버 전 구간을 자동 이송하고, 도중에 생긴 오류를 스스로 진단·복구합니다.
이 강의는 실습 가이드 — 1~14강 전부를 하나의 흐름으로 합칩니다. 새 개념은 없고, 통합과 응용입니다.
FOUP EFEM LL TM+PM
목표

이번 실습의 성공 기준

1
시퀀스로 Load Lock까지 자동 실행으로 웨이퍼를 보낸다.
2
진공 이송 Pump Down·Gate Valve를 거쳐 공정 챔버까지.
3
오류 대응 도중 발생한 알람을 진단·복구해 완주한다.
4
보고 겪은 오류를 6칸 보고서로 남긴다.
순서표

전 구간 체크리스트

구간핵심 동작확인
대기Docking·Door·Mapping·PickPresence ON
정렬Pre-aligner AlignNotch 0°
관문LL Place·Pump Down목표 진공
진공Gate Valve·진공 PickPresence ON
공정PM PlacePM Presence ON
완료 — 웨이퍼가 공정 챔버에 놓이고, 발생한 오류를 모두 복구했으면 과정 수료입니다.
응용

막히면 — 지금까지 배운 순서로

증상어느 강조치
회전 거부3·4·13강Retract 후 회전
밸브 거부10·13강압력 맞추고 재시도
Pick 실패5·6강겨냥·Presence 확인
Pump timeout10·14강누설 점검·재-Pump
이게 이 과정의 목적 — 알람 앞에서 당황하지 않고 어느 강의 지식으로 풀지 아는 것.
준비

전 구간 자동 이송 — 시작 전 점검

1
초기화 알람 0 · 로봇 Home.
2
FOUP 웨이퍼 적재 확인.
3
시퀀스 FOUP→Chamber 블록 준비.
목표 — 자동으로 전 구간을 돌리고, 도중 오류를 진단·복구해 완주.
01 · 시퀀스

전 구간 블록 구성

구간블록
대기MOVE·PICK·CHECK
정렬PLACE·WAIT·PICK
관문PLACE·Pump·WAIT
진공Valve·PICK·MOVE·PLACE
포인트 — 압력·Presence WAIT/CHECK를 빠뜨리지 말 것.
02 · 실행

돌리며 지켜보기

1
진행 관찰 어느 블록을 수행 중인지 본다.
2
상태바 압력·좌표·알람 수를 주시.
멈추면 — 멈춘 블록과 로그를 즉시 확인(14강 방식).
03 · 오류 대응

주입된 고장을 풀어낸다

증상어느 강조치
회전 거부3·4·13Retract 후 회전
밸브 거부10·13압력 맞추기
Pump timeout10·14누설 점검·재Pump
Pick 실패5·6겨냥·Presence
핵심 역량 — 알람 앞에서 "어느 강 지식으로 풀지" 아는 것.
04 · 보고

겪은 오류를 6칸으로 정리

항목내용
Problem무슨 일
Observed로그·센서
Cause원인
Action조치
Result복구 여부
Prevent재발 방지
습관화 — 현장 보고 양식 그대로. 로그 캡처를 곁들입니다.
05 · 완주

성공 기준 재확인

1
공정 챔버 도착 웨이퍼가 PM에 안착.
2
오류 복구 발생한 알람을 모두 해결.
3
보고 완료 6칸 보고서 작성.
이 셋을 채우면 — 과정 수료.
되돌아보기

이 과정이 준 세 가지 눈

1
구조를 보는 눈 웨이퍼의 여정과 장치 배치.
2
신호를 읽는 눈 센서·로그로 상태 판단.
3
문제를 푸는 눈 인터록·고장을 순서로 해결.
이제 — 실제 장비 화면을 봐도 "무엇이·왜·어떻게"가 읽힙니다.
현장으로

현장에서는 여기까지 본다

운전

레시피대로 이송이 도는지, 알람이 없는지.

대응

알람 시 로그로 원인 파악·복구·보고.

다음 단계 — 실제 장비 매뉴얼과 알람 리스트를 이 틀로 읽으면 빠릅니다.
개념 · 위치

전체 공정에서 이송의 자리

이송은 혈관

산화·리소·식각·증착… 모든 공정 사이를 웨이퍼가 오갑니다. 그 이동을 책임지는 게 이송.

멈추면 다 멈춘다

이송이 서면 뒤의 모든 공정이 굶습니다. 그래서 신뢰성이 생명.

큰 그림 — 이송은 눈에 안 띄지만 팹 전체의 흐름을 좌우합니다.
개념 · 지표

수율과 가동률로 말한다

1
수율 이송의 오염·정렬 오차가 곧 불량률.
2
가동률 알람·정지가 적을수록 생산 시간↑.
엔지니어의 언어 — "잘한다"는 결국 수율·가동률 숫자로 증명됩니다.
개념 · 역할

현장 엔지니어는 무엇을 하나

1
운전·감시 레시피대로 도는지, 알람은 없는지.
2
진단·복구 이상 시 로그로 원인 찾고 복구.
3
개선 재발 방지·절차 보완.
이 과정이 그 세 가지를 축소판으로 연습시킨 것입니다.
개념 · 다음

여기서 어디로 더 갈까

1
실장비 매뉴얼 이 틀로 읽으면 빠르게 익힙니다.
2
공정 과목 각 챔버 안에서 무슨 일이 일어나는지.
3
자동화·SW 시퀀스·호스트 통신 심화.
수고하셨습니다 — 웨이퍼 한 장의 여정을 처음부터 끝까지 익혔습니다.
개념 · 위치

전체 공정에서 이송의 자리

이송은 혈관

산화·리소·식각·증착… 모든 공정 사이를 웨이퍼가 오갑니다. 그 이동을 책임지는 게 이송.

멈추면 다 멈춘다

이송이 서면 뒤의 모든 공정이 굶습니다. 그래서 신뢰성이 생명.

큰 그림 — 이송은 눈에 안 띄지만 팹 전체의 흐름을 좌우합니다.
개념 · 지표

수율과 가동률로 말한다

1
수율 이송의 오염·정렬 오차가 곧 불량률.
2
가동률 알람·정지가 적을수록 생산 시간↑.
엔지니어의 언어 — "잘한다"는 결국 수율·가동률 숫자로 증명됩니다.
개념 · 역할

현장 엔지니어는 무엇을 하나

1
운전·감시 레시피대로 도는지, 알람은 없는지.
2
진단·복구 이상 시 로그로 원인 찾고 복구.
3
개선 재발 방지·절차 보완.
이 과정이 그 세 가지를 축소판으로 연습시킨 것입니다.
개념 · 다음

여기서 어디로 더 갈까

1
실장비 매뉴얼 이 틀로 읽으면 빠르게 익힙니다.
2
공정 과목 각 챔버 안에서 무슨 일이 일어나는지.
3
자동화·SW 시퀀스·호스트 통신 심화.
수고하셨습니다 — 웨이퍼 한 장의 여정을 처음부터 끝까지 익혔습니다.
마무리

이 과정에서 남길 것

1
웨이퍼의 여정 FOUP에서 공정 챔버까지 전 구간을 안다.
2
구동·감지·제어 로봇·센서·인터록을 손으로 다뤘다.
3
자동화와 진단 시퀀스를 짜고, 로그로 고장을 푼다.
수고하셨습니다. 이제 실제 장비의 이송 화면을 봐도 "무엇이·왜·어떻게"가 읽힐 것입니다.