Teach Pendant — 조작은 전부 여기서 · 도면은 보고 누르는 곳
I/O 모니터 — 웨이퍼 로봇의 '센서 모니터'와 같은 자리
용어 대응표
| 웨이퍼 이송 로봇 (6강) | 이 셀 | 같은 것 |
|---|---|---|
| Initialize → Home (ALM-101·102) | 서보 ON → 마스터링 (A-101·102) | 0점을 잡아야 좌표가 뜻이 있다 |
| Limit Z 1~5 (ALM-401) | 소프트 리밋 J1·Z (A-401) → 리밋 스위치 → 스토퍼 | 범위 끝에서 거부, 세 겹 |
| Wafer Presence (ALM-502·503·506) | 그리퍼 파트 센서 (A-501·506) | 집었다는 증거는 센서 |
| Position θ 편차 3° (ALM-405) | In-Position 허용 오차 J1 2° · R 25 · Z 15 mm | 목표 − 실제 |
| Encoder 증분형 → 켤 때마다 Home | 절대형 엔코더 + 배터리 → 배터리가 죽으면 마스터링 소실 (A-103) | 실제 돌아간 양 |
| Door Interlock 문이 열려야 진입 (ALM-301) | 안전 펜스 문이 닫혀야 AUTO (A-301) — 방향은 반대 | 문 신호가 조건 |
| Slot Mapping | 팔레트 파트 유무 확인 | 집기 전에 목록 |