상세 설명
PR 코팅은 스핀 코팅(Spin Coating) 방식으로 이루어지며, RPM(회전 속도), PR 점도, 코팅 시간이 최종 막 두께와 균일도를 결정합니다. 이 시뮬레이터에서는 RPM을 높이면 막이 얇아지고, 점도가 높으면 막이 두꺼워지는 관계를 직접 실험합니다. 웨이퍼 가장자리 효과(edge bead)와 결함 발생 조건도 확인합니다.
데모에서 잠긴 손잡이
모터 온도 · 챔버 습도 — 데모 화면에서는 회색으로 고정되어 있고 정식 버전(기관 서고)에서 조절할 수 있습니다. 나머지 손잡이는 데모에서 그대로 돌려 볼 수 있습니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
RPM과 PR 막 두께의 반비례 관계(t ∝ 1/√RPM) 확인
PR 점도가 막 두께와 균일도에 미치는 영향
스핀 코팅 시 edge bead 발생 메커니즘
최적 코팅 조건(RPM, 시간, 가속도) 탐색 실험
직접 체험해 보세요
Lithography의 PR Coating RPM 시뮬레이션을(를) 지금 바로 사용해 볼 수 있습니다.
PR Coating RPM 시뮬레이션 체험하기 정식 버전 알아보기