로봇및센서실습 · 반도체장비전공 · CHAPTER 6

센서
로봇의 눈

로봇은 스스로 보지 못합니다. 지금 어떤 상태인지는 전부 센서 신호로 압니다. 이송장치의 핵심 센서 다섯 종 — Presence · Home · Limit · Position · Encoder — 과 문·압력 센서까지, 각각 무엇을 어떤 원리로 재고, 그 신호로 무엇을 막는지 봅니다.

이 강의 — Pick 전후 신호 변화, Home 조건, Limit 알람을 직접 발생시키며 "신호가 곧 진실"임을 확인합니다.

00 · 목표

이 강의가 끝나면

센서마다 한 문장 다섯 센서가 각각 무엇을 재고, 신호가 언제 바뀌는지 말할 수 있다.

원리 광 센서(투과·반사·포토인터럽터), 흡착 압력, 엔코더 A/B 펄스가 어떻게 "예/아니오"와 "숫자"를 만드는지 안다.

신호 → 허가/거부 인터록이 센서 신호의 AND 조건이라는 것을 알고, 알람 코드를 보고 어느 센서가 막았는지 찾는다.

실습으로 확인하는 것

① Pick 전후 Wafer Presence OFF → ON
② Extend 하면 Home 이 꺼지고, 접으면 다시 켜진다
③ Z 를 범위 밖으로 보내 ALM-401 (Limit)
④ 훈련 4개 — 신호 만들기 · 한계 신호 3종 · 무알람 순회 · 신호 예측

한 줄 요약 — 장비에는 눈이 없다. 판단은 전부 신호로 한다.

01 · 왜 센서

센서가 없으면 자동화도 없다

판단의 근거

모든 다음 동작의 허가/거부는 센서 신호에서 나옵니다. 인터록도, 알람도, 자동 시퀀스의 "기다렸다가 다음으로"(WAIT)도 전부 센서 하나하나로 판정합니다. 센서 = 장비의 감각기관.

두 종류

디지털(예/아니오) — Presence · Home · Limit · Door. 문턱을 넘으면 ON.
아날로그(숫자) — 압력 · 위치 · 엔코더. 값 자체를 읽고, 제어기가 기준과 비교해 판정합니다.

센서	무엇을 아나	신호
Wafer Presence	손/스테이션에 웨이퍼가 있는가	예/아니오
Home	원점 복귀를 마쳤고 팔이 들어와 있는가	예/아니오
Limit	축이 이동 한계에 닿았는가	예/아니오
Position	지금 θ·R·Z 가 목표와 맞는가	숫자 → 판정
Encoder	모터가 실제로 얼마나 돌았는가	펄스 수(숫자)

02 · 센서 모니터 탭

시뮬레이터가 보여 주는 신호 — 전부

신호	ON(초록)이 뜻하는 것	이렇게 하면 바뀐다
Wafer Presence	로봇 손(End Effector)에 웨이퍼가 있다	Pick → ON · Place → OFF
Home Sensor	원점 복귀 완료 그리고 팔 수축	Extend → OFF · Retract → ON
Limit Sensor (Z)	Z 가 1~5 범위 안	범위 밖으로 보내면 ALM-401
Position Sensor	멈춰 있고 θ 편차 3° 이내 — "정위치"	이동 중 · 편차 3° 초과면 OFF
Encoder (θ)	실제 회전 각도를 숫자로 표시	회전할 때마다 값이 바뀐다
Door · Slot Mapping	Load Port 문 열림 · 매핑 완료	Load Port 탭에서 조작
Pressure · Vacuum	Load Lock 700 Torr 미만 · 1 Torr 미만	Load Lock 탭(10강)

보는 법 — 조작하기 전에 이 탭을 열어 두고, 버튼 하나 누를 때마다 어느 줄이 바뀌었는지 보세요. Collision · PM 상태 줄도 있지만 이 강의에서는 위의 신호가 주인공입니다.

03 · 원리 — 빛

광 센서 세 가지 — 빛이 막히면 신호가 바뀐다

공통 원리

빛을 쏘고 받는 양이 문턱을 넘느냐로 예/아니오를 냅니다. 그래서 출력은 늘 두 값뿐입니다.

약점도 같다

렌즈 오염, 정렬 틀어짐, 투명·경면 웨이퍼는 빛을 제대로 막거나 반사하지 못해 있는데 없다고 말합니다.

현장 습관 — 센서가 이상하면 먼저 렌즈를 닦고 광축을 봅니다. 고장보다 오염이 훨씬 흔합니다.

03 ½ · 쉽게 말하면

생활 속에 같은 센서가 있다 — 원리는 하나씩만 기억하면 된다

센서	생활 속 같은 것	한 줄 원리
Presence 진공 흡착	빨대로 종이를 들어 올리기 — 종이가 빨대 끝을 막으면 빨기가 뻑뻑해진다	패드가 막히면 배관 압력이 떨어진다 → 압력 스위치 ON
투과형 광 매핑	엘리베이터 문 안전 센서 · 매장 입구의 손님 카운터	마주 보는 빛이 끊기면 "있음"
반사형 광	자동 수도꼭지 · 자동문	쏜 빛이 되돌아오면 "있음"
포토인터럽터 Home · Limit	프린터를 켤 때 헤드가 끝까지 가서 '툭' 멈추는 것 · 복사기 용지 센서	ㄷ자 틈을 차광판이 가리면 ON
Home	자(ruler)의 0 눈금 — 0 을 맞춰야 뒤의 숫자가 뜻이 있다	원점 복귀 완료 그리고 팔 수축
Limit	서랍 끝 스토퍼 · 꼭대기 층에서 ▲ 를 눌러도 안 가는 엘리베이터	범위 끝 → 거부(소프트) → 스위치(하드) → 기구 스토퍼
Encoder	자전거 속도계 자석(바퀴 한 바퀴 = 펄스 하나) · 마우스 휠의 '딸깍'	펄스 수 × 한 펄스 각도 = 돌아간 양
Position 폐루프	내비게이션 — 목표와 현재 위치의 차이로 다음 안내를 정한다	목표 − 실제 → 모터 명령

두 종류뿐

예/아니오(Presence · Home · Limit · Door)는 문턱을 넘느냐로 정하고, 숫자(압력 · 엔코더 · 위치)는 값을 재서 기준과 비교합니다.

이렇게 외우세요

"빛이 막히면 있음, 0 을 잡아야 Home, 끝에서 멈추면 Limit, 딸깍을 세면 각도." 네 문장이면 6강의 센서 원리가 끝납니다.

다음 두 장은 손으로 만져 보는 체험입니다. 빛을 막아 보고, 원판을 돌려 보세요.

체험 ① · 광 센서

빛을 막아 보자 — "문턱"이 예/아니오를 만든다

렌즈 오염 0 %

실제 웨이퍼없음 센서 판정없음 맞았나일치

해 보기 — ① 웨이퍼를 넣고 빼며 막대를 보세요. ② 웨이퍼를 뺀 채 오염을 70 % 넘게 올려 보세요.

04 · Presence

Wafer Presence — 집었나, 놓았나

성공 판정의 근거 Pick 하면 OFF→ON, Place 하면 ON→OFF.

불일치는 알람 Place 명령인데 여전히 ON, Pick 인데 OFF 면 인터록/알람으로 이어집니다.

감지 방식	원리	특징
진공 흡착	손의 흡착 패드가 웨이퍼로 막히면 배관 압력이 떨어진다 → 압력 스위치 ON	잡는 힘과 감지를 한 번에 · 대기 로봇에 흔함
광학	손 끝 광 센서가 웨이퍼를 본다	진공이 없는 곳에서도 · 오염에 약함
정전용량	웨이퍼가 다가오면 전극 용량이 변한다	접촉 없이 · 투명 기판도 감지

어디에나 있다 — 로봇 손뿐 아니라 Pre-aligner, Load Lock · 챔버 각 위치에도 유무 센서가 있어 "지금 웨이퍼가 어디 있나"를 장비가 늘 압니다.

05 · 타이밍

Pick 한 번 — 신호는 이 순서로 바뀐다

가로축 = 시간 · 위 = ON · 아래 = OFF

읽는 법

명령 하나에 신호 여러 개가 정해진 순서로 움직입니다. 순서가 어긋나면 그 자리가 고장 지점입니다.

Pick 했는데 Presence 가 OFF 그대로면

웨이퍼 없는 칸을 겨냥했거나(4강 — 빈 칸), 센서·흡착 이상입니다. 로봇은 멀쩡히 움직였는데 결과가 없는 상태입니다.

06 · Presence 가 막는 것

유무 센서가 거부하는 동작 — 5xx 계통

코드	언제	센서가 본 것
ALM-203	팔을 뻗지 않고 Pick/Place	손이 스테이션 안에 없다
ALM-501	이미 들고 있는데 또 Pick	손 Presence 가 이미 ON
ALM-502	빈 곳에서 Pick	그 위치 Presence 가 OFF
ALM-503	웨이퍼가 있는데 Pick 이 완료되지 않음	손 Presence 가 ON 되지 않음 — 센서·흡착 이상
ALM-504	빈손으로 Place	손 Presence 가 OFF
ALM-505	놓을 곳에 이미 있음 (Double Place)	대상 위치 Presence 가 ON
ALM-506	이송 중 웨이퍼가 사라짐 (Wafer Lost)	이동 중 손 Presence 가 ON→OFF

ALM-506 이송 중 낙하가 가장 무섭습니다. 흡착이 약하면 회전하다 웨이퍼를 떨어뜨리고, 장비는 그 순간 Presence 가 꺼지는 것으로만 압니다. 14강에서 이 고장을 직접 진단합니다.

07 · Home

Home 센서 — 기준을 잡았다는 증거

Home 실행했나	팔	Home Sensor
안 함 (Initialize 만)	—	OFF
함	수축 (R = 0)	ON
함	전진 (Extend)	OFF — "전진중"
함	수축한 채 회전 · Z 이동	ON 유지

정확한 조건 — Home 센서는 원점 복귀를 마쳤고 그리고 팔이 들어와 있을 때만 ON 입니다. 그래서 램프 하나가 두 가지를 동시에 증명합니다(4강).

좌표계의 원점

Home ON 은 "지금 기준 위치를 안다"는 증거. 이게 있어야 θ·R·Z 숫자가 실제 위치를 뜻합니다(3강 "Home 이 기준점"을 신호로 확인하는 셈).

없으면

Home 미확립 상태의 축 이동은 거부됩니다 — ALM-102. Initialize 도 안 했으면 ALM-101.

왜 매번 Home 을 하나

다음 장의 증분형 엔코더는 전원이 꺼지면 위치를 잊습니다. 켤 때마다 원점에서 다시 세어야 합니다.

08 · Limit

Limit — 여기서 멈추라는 신호

ALM-401 이 뜨는 조건 Z 는 1~5 만 갈 수 있습니다. Z1 에서 ▲ Z Up, 또는 Z5 에서 ▼ Z Down 을 누르면 거부됩니다.

보호의 세 겹

소프트 리밋이 먼저 막고, 뚫리면 Limit 센서(하드)가, 그마저 넘으면 기구가 막습니다(3강 리밋 세 겹). 시뮬레이터의 Limit 줄은 첫 겹을 보여 줍니다.

실습 — Z 를 범위 밖으로 보내 Limit 알람을 고의로 발생시켜 보세요. 조건과 로그 메시지를 기억하게 됩니다.

09 · Encoder 원리

Encoder — 구멍 난 원판이 각도를 센다

증분형 (Incremental)

펄스를 세기만 합니다. 전원이 꺼지면 숫자를 잃으므로 켤 때마다 Home 에서 0 을 다시 잡아야 합니다.

절대형 (Absolute)

원판 무늬가 위치마다 다른 코드라 켜자마자 지금 각도를 압니다. 비싸지만 Home 을 덜 합니다.

핵심 — 엔코더는 명령이 아니라 실제를 읽습니다. 그래서 반복도(매번 같은 자리)를 보장합니다.

체험 ② · 엔코더

원판을 돌려 보자 — 딸깍을 세면 각도가 된다

모터를 돌려 보세요 — 실제 각도 0°

제어기가 아는 각도0° 세어 둔 펄스 (8슬릿)0 방향—

해 보기 — 슬라이더를 오른쪽·왼쪽으로 움직여 A·B 순서가 바뀌는 것을 보고, 전원을 껐다 켜 보세요. 증분형은 숫자를 잃고(Home 필요), 절대형은 그대로입니다 — 그래서 로봇은 켤 때마다 Home 을 합니다.

10 · Position · 폐루프

명령과 실제를 비교한다 — 그래서 정확하다

실시간 좌표 · 도착 판정

Position 은 θ·R·Z 현재값을 상태바에 계속 띄우고, 목표와 맞으면 "도착". 자동 시퀀스의 WAIT 조건으로도 쓰입니다.

ALM-405 Position Interlock θ 가 목표에서 3° 넘게 어긋난 채 Extend 하면 거부됩니다. 센서 탭에는 "편차 N°"로 뜹니다.
6강의 로봇은 정상이라 편차가 나지 않습니다 — 이 알람은 14강 고장 진단에서 엔코더 편차를 주입해 직접 봅니다. 여기서는 "멈추면 정위치, 움직이면 이동중"만 확인하세요.

습관 — 명령 후 숫자가 안 변하면 정지·인터록을, 변했는데 목표와 다르면 엔코더·티칭을 의심합니다.

11 · 인터록 = 센서의 AND

FOUP 으로 Extend — 네 가지 조건이 모두 "예"여야 한다

빠진 조건	코드
Docking 안 함	ALM-302
Door 닫힘	ALM-301
Init · Home 안 함	ALM-101 · 102
θ 편차 3° 초과	ALM-405

반대 방향도 — 팔이 FOUP 안에 있으면 Door 를 닫을 수 없습니다(ALM-306). Docking 전 Door Open 은 ALM-305. 인터록은 양방향입니다.

12 · 압력

압력 센서 — 진공의 눈

게이지 하나로 대기부터 초고진공까지 못 잰다 — 구간마다 다른 원리

Load Lock · 챔버

목표 진공에 도달했는지 판정합니다. 밸브 개방 허가의 조건입니다. 대기측 게이트가 닫혀 있으면 ALM-303, 진공측이면 ALM-304.

단위

Torr 로 표시. 760(대기) ↔ 0.01 이하(진공). 한 자리 내려갈 때마다 10배 — 그래서 로그 눈금으로 봅니다.

10강 연결 — Pump Down 이 목표 압력에 닿아야만 진공측 밸브가 열립니다. 목표에 못 닿으면 타임아웃 알람(펌프·누설, 14강).

13 · 신호의 전기적 모습

ON 이 안전일까, OFF 가 안전일까

NO · NC 접점

NO(평소 열림)는 감지하면 닫히고, NC(평소 닫힘)는 감지하면 열립니다. 같은 센서라도 배선에 따라 "ON 의 뜻"이 반대입니다.

페일세이프

안전 신호(문 닫힘·비상정지)는 선이 끊기면 "위험"으로 읽히게 배선합니다. 단선이 "안전"으로 보이면 사고가 납니다.

채터링 · 디바운스

경계에서 신호가 ON/OFF 를 빠르게 튑니다. 제어기는 일정 시간 같은 값이 이어져야 인정합니다.

현장 한 줄 — "램프가 켜졌다"는 말보다 "그 신호가 무엇을 뜻하도록 배선됐는가"를 먼저 확인합니다. 도면의 NO/NC 표기가 그 답입니다.

14 · 센서가 거짓말할 때

신호와 실물이 다를 때 — 흔한 고장 모드

원인	증상	시뮬레이터에서 보이는 모습
Presence 센서 불량	웨이퍼가 있는데 "없음"	Pick 이 완료되지 않음 — ALM-503
흡착 불량	집었는데 이동 중 놓침	회전 중 손 ON→OFF — ALM-506
엔코더 편차	도착했다는데 실제 각도가 다름	센서 탭 "편차 N°", Extend 거부 — ALM-405
매핑 센서 불일치	빈 칸을 "있음"으로	Load Port 표에서 신호 ≠ 실제 (7강)
렌즈 오염 · 광축 틀어짐	간헐적으로 신호가 튐	— (현장에서 가장 흔함)

진단의 출발 — 이상 신호를 먼저 찾고, 로그의 코드와 맞춰 봅니다. 신호가 틀렸는지, 실물이 틀렸는지를 가르는 것이 14강 고장 진단의 핵심입니다.

15 · 흔한 오해

"움직였으니 됐다"는 착각

동작 ≠ 성공

팔이 움직여도 웨이퍼를 못 집었을 수 있습니다. 성공은 Presence 가 증명합니다.

센서	정상	이상 예
Presence	동작과 일치	Place 인데 계속 ON
Home	Home 후 수축 상태에서 ON	Home 했는데 계속 OFF
Position	멈추면 "정위치"	멈췄는데 "편차 8°"
Pressure	목표 도달	Timeout

자주 하는 실수

· 센서 탭을 안 열고 조작한다 → 무엇이 바뀌었는지 모른다
· Home 이 켜졌다고 팔이 제자리인 줄 안다 → 회전 뒤엔 Position 도 본다
· 알람을 Reset 부터 한다 → 원인 신호를 지워 버린다
· "신호 없음"을 "웨이퍼 없음"으로 읽는다 → 센서 불량일 수 있다

한 줄 — 눈을 믿지 말고 신호를 믿어라. 신호가 곧 진실. 단, 신호가 이상하면 센서부터 의심하라.

16 · 실습 준비

시뮬레이터 화면 지도 — 어디에 무엇이 있나

6강에서는 센서 모니터와 알람 로그 탭이 주인공입니다.

탭	여기서 하는 일
학습	이번 강의 미션 4개와 "지금 할 일"
수동조작	Initialize · Home · 회전 · Z · Extend · Retract · Pick · Place
Load Port	Docking · Door Open · Mapping
훈련	드릴 3개 — 지시만 뜨는 곳
센서 모니터	신호 ON/OFF 와 값 — 늘 열어 둘 탭
알람 로그	코드와 이유 — 최근 줄부터 위로 읽는다

화면 두 개를 함께 보는 요령

수동조작 탭에서 버튼을 누르고, 바로 센서 모니터 탭으로 넘어가 바뀐 줄을 찾습니다. 화면 맨 아래 상태줄에는 STATION · R · θ · Z · HAND 가 늘 떠 있어 탭을 오가도 위치를 잃지 않습니다.

기억할 것 — 훈련 탭에는 움직이는 버튼이 없습니다. 조작은 수동조작 · Load Port 탭에서 합니다.

17 · 실습 절차

6강에서 직접 해볼 것 — 순서대로

Presence ON/OFF Docking · Door Open 후 웨이퍼가 있는 칸(1~3번)에서 Pick. 센서 탭에서 OFF → ON 을 확인하고, Place 로 다시 OFF. (현장에서는 Mapping 으로 목록을 만든 뒤 집습니다 — 7강. 이 시뮬은 매핑 없이도 집히지만, 습관은 "매핑 먼저".)

Home OFF → ON Home 상태에서 Extend 하면 꺼지고, Retract 하면 켜지는 것을 확인.

Limit 알람 Z1 에서 ▲ Up (또는 Z5 에서 ▼ Down) 으로 ALM-401 발생.

훈련 탭 4개 ① 신호 만들기(조작 14회 · 알람 0) · ② 한계 신호 3종(60초 · 다른 알람 금지) · ③ 무알람 순회(10개 · 조작 여유 6) · ④ 신호 예측(누르기 전에 고른다 · 오답 3회까지).

막혔을 때 보는 순서

1. 신호가 안 바뀐다 → 제어 대상이 EFEM Robot 인지, Initialize · Home 했는지.
2. Pick 이 거부된다 → 팔을 뻗었는지(203), 빈 칸은 아닌지(502), 이미 들고 있지 않은지(501).
3. Extend 가 거부된다 → Door(301) · θ 편차(405).
4. 그래도 모르겠다 → 알람 로그. 앞자리가 계통 — 1xx 준비 · 2xx 자세 · 3xx 문 · 4xx 센서·한계 · 5xx 웨이퍼 유무.

완료 기준 — 학습 탭 미션 4개가 모두 체크되면 6강 완료(훈련 4개 포함). 훈련에는 실패 조건이 있습니다 — 조작 수·시간·엉뚱한 알람·오답이 넘으면 그 자리에서 실패하고 처음부터 다시입니다. 기록이 남으니 줄이며 다시 도전하세요.

18 · 훈련

드릴 4개 — 무엇을 보는 훈련인가 · 실패 조건이 있다

드릴	완료 조건	제한	무엇을 보는가
① 신호 만들기	Pick(Presence ON) → Retract(Home ON) → Extend(Home OFF) → Place(Presence OFF) → Retract(Home ON) 을 순서대로	조작 14회(최단 12) · 알람 0	어떤 조작이 어떤 신호를 바꾸나
② 한계와 조건 신호 3종	ALM-401 · 301 · 203 을 각각 한 번씩	60초 · 그 밖의 알람이 나면 실패(101·102 포함)	센서가 "안 된다"고 말하는 세 경우
③ 무알람 순회	목표 자세 10개 를 차례로 만들기	알람 0회 · 조작 최단 + 6회	누르기 전에 조건을 읽는 습관 · 짧은 회전 방향 고르기
④ 신호 예측	장비가 자세를 잡아 주면 "이 버튼을 누르면 어떤 신호가 바뀌나"를 먼저 고르고 실행해 맞히기 — 10문항	오답 3회 · 수동 조작 금지	보고 따라 하기가 아니라 머릿속으로 신호를 먼저 그리기

①에서 막히는 곳 — Home OFF

Home 센서는 회전으로는 꺼지지 않습니다. 웨이퍼를 든 채 한 번 넣었다가(Home ON) 다시 Extend 해야 꺼집니다. 뻗을 곳은 빈 스테이션(Pre-aligner) 앞이 편합니다. FOUP 에서 집으려면 Load Port 탭에서 Docking · Door Open 부터.

④에서 막히는 곳 — "바뀜"의 뜻

Position 은 이동 중에만 OFF 였다가 도착하면 다시 정위치라 바뀜이 아닙니다. 거부되는 조작(201 · 301 · 401)은 거부만 고릅니다 — 거부되면 아무 신호도 안 바뀝니다(401 은 Limit 줄이 빨개지므로 예외). 회전은 Encoder 값만 바꿉니다.

③에서 막히는 곳 — 뻗은 채 이동

목표 자세는 팔을 수축한 상태로 인정됩니다. 뻗은 채 회전(201)이나 Z 이동(202)을 하면 그 자리에서 실패. 매번 상태줄의 R 이 0 인지 보고 누르세요.

같은 개념 · 다른 현장

자동차 공장 핸들링 로봇도 같은 다섯 신호로 돈다

웨이퍼 이송 로봇	자동차 공장 로봇 (셋업 용어)	같은 것
Initialize · Home	서보 ON · 마스터링(원점 맞추기)	0 점을 잡아야 좌표가 뜻이 있다
Limit (Z 1~5, ALM-401)	소프트 리밋 → 리밋 스위치 → 기구 스토퍼	범위 끝에서 거부 — 세 겹 보호
Wafer Presence	그리퍼 파트 센서(근접·공압 확인)	"집었다"는 팔이 아니라 센서가 증명
Position (θ 편차 3°)	티칭 포인트 In-Position 허용 오차	목표 − 실제가 허용 안이어야 다음 동작
Encoder (증분형 → 매번 Home)	절대형 엔코더 + 배터리 — 배터리가 죽으면 마스터링 소실	실제 돌아간 양을 센다
Door Interlock (문이 열려야 진입)	안전 펜스 도어 (문이 닫혀야 자동 운전)	방향은 반대, "문 신호가 조건"은 같다
Slot Mapping	팔레트 파트 유무 확인(비전·센서)	집기 전에 목록을 만든다

셋업 순서도 닮았다

펜스 닫힘 확인 → 서보 ON → 마스터링 → 소프트 리밋 → 포인트 티칭 → 그리퍼 테스트 → 자동 1사이클. 반도체 로봇의 Initialize → Home → 티칭 → 인터록 확인 → 자동 시퀀스와 같은 뼈대입니다.

🏭 자동차 공장 로봇 셋업 시뮬 열기 →

시뮬 안에서는 학습 탭의 🏭 버튼으로도 열립니다. 시나리오 — 신규 셀 셋업 9단계(단계는 판정 전까지 숨김) · 월요일 아침 충돌 사고(엔코더 배터리) · 파트 센서가 안 켜질 때 · 무엇인지 모르는 고장 하나(원인 6개 중 무작위) · AUTO 가 바로 멈출 때.

정리 · 자가 점검

6강에서 남길 것

다섯 센서 Presence · Home · Limit · Position · Encoder — 그리고 문 · 압력.

원리는 두 갈래 문턱을 넘으면 ON(디지털), 값을 재서 비교(아날로그).

인터록 = 센서의 AND 하나라도 "아니오"면 거부. 코드가 어느 센서인지 알려 준다.

신호가 진실, 단 센서도 고장 난다 신호와 실물이 다르면 센서부터 의심.

Q1

로봇이 "웨이퍼를 집었다"고 확신하는 근거는 무엇인가요?
→ 팔이 움직인 것이 아니라 손의 Wafer Presence 가 OFF → ON 으로 바뀐 것.

Q2

Home 을 마친 뒤 수축한 채 회전했습니다. Home 센서는?
→ ON 그대로. Extend 해야 꺼집니다.

Q3

한 바퀴 10,000 펄스 엔코더로 45° 돌면 몇 펄스?
→ 10,000 × 45 / 360 = 1,250 펄스.

다음 강 — 7강 Load Port: 투과형 매핑 센서로 FOUP 칸마다 웨이퍼 유무를 판정합니다.

센서로봇의 눈