상세 설명
건식 세정(Dry Cleaning)은 플라즈마나 UV/오존을 이용하여 화학 용액 없이 오염을 제거하는 기술입니다. 미세 패턴 손상 없이 정밀한 세정이 가능하여 첨단 공정에서 활용이 늘어나고 있습니다. 이 탭에서는 건식 세정의 원리를 습식 세정과 비교하고, 각 방식의 장단점과 적용 분야를 체계적으로 정리합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
건식 세정(플라즈마, UV/O₃)의 오염 제거 메커니즘 이해
습식 vs 건식 세정의 장단점 비교 분석
미세 패턴에서 건식 세정이 필요한 이유 파악
공정 노드별 습식/건식 세정 적용 전략