상세 설명
[조작] 터보펌프·수동밸브·MFC·차단밸브·스로틀(압력 자동제어)·ESC(척킹·He 냉각)·소스/바이어스 RF·정합기를 도면에서 누르고 설정합니다. 위에서 CCP ↔ ICP 구성을 바꿀 수 있습니다. MFC 페이스플레이트의 "유량 검증(ROR)" 으로 실제 유량을 환산합니다. 시나리오: ICP 기동 절차(8단계), 진단(식각률 로트 편차 · 점화 실패 · 반사파 · 압력 미도달 · 가장자리 프로파일), 고종횡비·저손상 조건 만들기(이방성 0.78 이상 · 손상 지수 25 이하 · 식각률 180 nm/min 이상 12초), He 백사이드 냉각 상실 대응(권장 12초). [관찰] 인터록 사유(I-01 배기 미확보 · I-02 압력 200 mTorr 초과 · I-03 미척킹 · I-04 CCP 에는 소스 없음 · I-05 수동밸브 닫힘), 반사파·V_dc·밀도·식각률·이방성·손상 지수·웨이퍼 온도. 상단 "원리 · 용어" 화면에서 노브를 돌리면 도면과 수식에 지금 값이 대입됩니다.
원리 설명
식각 챔버 운전 — 왜 배기·가스·압력이 먼저고 RF가 마지막일까 — 기동 순서·인터록·진단·모델 식을 이 실습과 같은 모델과 같은 수치로 정리한 페이지입니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
기동 8단계 — 배기 → 가스 → 압력 → 척킹·He → 소스 RF → 바이어스 RF
CCP 는 파워 하나가 밀도와 이온 에너지를 함께, ICP 는 따로 정한다
알람 없는 식각률 변화를 공급 → RF → 챔버 → 배기 순으로 좁히기
He 냉각이 끊기면 입열을 끊거나 냉각을 되살린다 — 트립은 대응이 아니다