이 시뮬레이터는 무엇인가
공정 레시피를 아는 것과 설비를 돌리는 것은 다른 일입니다. 이 실습은 가스를 챔버까지 보내는 계통(가스 스틱·MFC·차단밸브·스크러버)과 그 가스로 플라즈마를 만들어 깎는 챔버(RF·정합기·ESC·스로틀밸브·터보펌프)를 P&ID 도면 위에서 직접 조작합니다. 순서를 틀리면 인터록이 번호와 사유를 띄우며 거부하고, 진단 시나리오에서는 증상만 받고 계기를 열어 보며 원인을 지목합니다. 판정 칸에는 몇 단계까지 정규 순서로 했는지, 지목한 원인과 실제 원인이 무엇인지 같은 사실이 적힙니다.
공정 흐름에서의 위치: 진공·플라즈마·식각을 장비 단위로 묶은 운전 실습입니다. 원리는 진공·플라즈마·식각 가이드에, 운전 순서와 진단은 여기에 있습니다.
무엇을 배울 수 있나
- 가스 공급계를 하류(스크러버·펌프)부터 기동하는 이유 이해
- 식각 챔버에서 RF 를 배기·가스·압력·척킹 뒤에 넣는 이유 이해
- 인터록이 막는 조작과 알람으로만 알리는 이상의 구분
- MFC 지시값과 실제 유량이 어긋나는 고장을 계통 순서로 진단
- CCP 와 ICP 의 차이를 같은 조작의 결과로 비교
학습 경로
반도체 8대 공정 순서에 따른 학습 경로입니다. 순서대로 학습하면 공정 간 연관성을 이해하는 데 효과적입니다.
데모에서 체험 가능한 기능
가스 공급계 시나리오 9개 중 3개, 식각 챔버 시나리오 8개 중 3개, 가스 공급계 교재 1권 7장, 식각 원리·용어 화면
정식 버전에서 확장되는 기능
시나리오 17개 전부(진단 11 · 목표 2 · 긴급 대응 2 · 기동 절차 2), 서고 「설비 운전」 책과 직무 서고 메인트 코어 진단 장 연결
정식 버전에서는 100개 이상의 시뮬레이터와 심화 학습 콘텐츠를 제공합니다.
탭별 상세 가이드
설비 운전 시뮬레이터의 각 탭별 학습 내용을 자세히 알아보세요.