상세 설명
[조작] 도면의 밸브·MFC·펌프·스크러버를 누르면 페이스플레이트가 열려 개방·차단·설정값을 넣습니다. MANUAL/AUTO 를 바꿀 수 있고, AUTO 에서는 기동 절차를 자동재생으로 볼 수 있습니다(그 회차는 판정 칸에 자동 운전으로 진행했다고 적힙니다). 왼쪽에서 시나리오를 고르면 설비가 그 상황으로 세팅됩니다 — 기동 절차, 진단(증상만 주어짐), 혼합가스 레시피 맞추기(유량 ±3 %, 압력 ±5 % 안에서 20초 유지), 누출 경보 대응(목표 30초). [관찰] 인터록 거부 사유(I-01 스크러버 정지 · I-02 펌프 정지 · I-03 진공 미확보 100 mTorr · I-05 공급압 부족), 계기 버블의 지시값과 실제값, 챔버 압력이 유량과 스로틀 개도로 함께 정해지는 모습. 상단 "교재 · 1권" 에서 7장(가스 스틱·기동 절차·MFC·압력·인터록·진단·누출 대응)을 실습 옆에서 읽습니다.
원리 설명
가스 공급계 운전 — 왜 스크러버와 펌프가 먼저고, 공정가스가 마지막일까 — 기동 순서·인터록·MFC 진단을 이 실습과 같은 모델과 같은 수치로 정리한 페이지입니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
기동 11단계 — 스크러버·펌프 먼저, 퍼지, 수동밸브, 설정값, 공정가스 마지막
수동밸브를 안 열면 유량은 0인데 알람은 하류 MFC 에서 뜬다
압력 P = Q·K/S_eff — 유량을 먼저, 압력을 나중에 맞추는 이유
MFC 지시값은 실제값이 아니다 — 알람 없는 드리프트를 상류부터 좁혀 찾기