상세 설명
열확산은 고온에서 도펀트 원자가 농도 구배를 따라 이동하는 도핑 방법입니다. Fick의 법칙에 따라 확산 프로파일이 결정되며, 온도와 시간이 핵심 파라미터입니다. 이 시뮬레이터에서는 확산 온도, 시간, 표면 농도를 조절하며 도펀트 프로파일의 변화를 실시간으로 관찰합니다. 일정 표면 농도(predeposition)와 일정 총량(drive-in) 조건을 비교합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
Fick의 제1법칙과 제2법칙의 물리적 의미
일정 표면 농도(erfc) vs 일정 총량(Gaussian) 프로파일
확산 온도·시간에 따른 접합 깊이(xj) 변화
도펀트 종류(B, P, As)별 확산 계수 차이