상세 설명
열 증발법은 도가니(crucible)에서 물질을 가열하여 증기화시킨 뒤, 증기 분자가 기판에 도달하여 박막을 형성하는 PVD 기술입니다. 이 시뮬레이터에서는 증발 분자의 비행 경로, 기판 위치에 따른 두께 분포, 증발원 온도와 증착 속도의 관계를 시각적으로 관찰합니다. 코사인 법칙에 따른 방향성 분포도 확인합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
열 증발법의 기본 원리와 증발원 구조
증발 분자의 코사인 방향 분포(cosine law)
기판 위치에 따른 막 두께 균일도 변화
증발원 온도와 증착 속도의 관계