상세 설명
스퍼터링은 Ar⁺ 이온이 타겟 물질에 충돌하여 원자를 튀어나오게 하고(sputter), 이 원자가 기판에 증착되는 PVD 기술입니다. DC 스퍼터링과 RF 스퍼터링, 마그네트론 스퍼터링 등 다양한 방식이 있습니다. 이 시뮬레이터에서는 이온 충돌 → 원자 방출 → 기판 도달의 전 과정을 3D로 시각화하고, 공정 압력, RF 파워가 증착 특성에 미치는 영향을 실험합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
스퍼터링의 물리적 메커니즘(운동량 전달)
DC 스퍼터링과 RF 스퍼터링의 차이
마그네트론 스퍼터링의 자기장 역할
공정 압력·RF 파워에 따른 증착 속도와 막질 변화