상세 설명
포토리소그래피는 HMDS 처리, PR 도포, 소프트 베이크, 정렬/노광, PEB(Post Exposure Bake), 현상, 하드 베이크, 검사의 8단계로 이루어집니다. 각 단계는 정밀한 조건 제어가 필요하며, 하나의 단계라도 최적화되지 않으면 패턴 불량이 발생합니다. 이 탭에서는 각 단계의 목적, 핵심 파라미터, 공정 윈도우를 순차적으로 학습합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
HMDS 처리의 목적(접착력 향상)과 원리
PR 도포부터 현상까지 8단계 공정 흐름 파악
각 단계의 핵심 파라미터와 공정 윈도우 이해
Positive PR과 Negative PR의 차이 및 선택 기준