상세 설명
Deal-Grove 모델은 산화막 성장을 선형 속도 상수(B/A)와 포물선 속도 상수(B)로 설명합니다. 이 탭에서는 각 상수가 온도, 압력, 결정 방향 등에 어떻게 의존하는지 그래프로 분석합니다. 초기 산화(thin regime)에서의 보정 계수, 도펀트 농도의 영향 등 심화 내용도 다룹니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
Deal-Grove 모델의 선형 계수(B/A)와 포물선 계수(B) 의미
온도·압력이 각 계수에 미치는 영향 정량 파악
결정 방향((100) vs (111))에 따른 산화 속도 차이
초기 산화 영역(thin oxide regime)의 특수성 이해