상세 설명
산화 공정에서는 막 두께 불균일, 핀홀(pinhole), 표면 거칠기 증가, 도펀트 재분배 등의 문제가 발생할 수 있습니다. 이 탭에서는 실제 FAB에서 자주 겪는 산화 공정 불량 사례를 시나리오로 제시하고, 원인을 분석하여 해결하는 과정을 연습합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
산화막 두께 불균일의 원인(온도 분포, 가스 유량) 분석
핀홀과 표면 결함의 발생 원인 및 방지법
도펀트 재분배(segregation)와 산화 공정의 관계
산화 공정 불량에 대한 체계적 분석 방법