상세 설명
산화막 두께는 온도, 시간, 산화 분위기(건식/습식)에 의해 결정됩니다. 이 시뮬레이터에서는 이 세 가지 변수를 자유롭게 조절하며 산화막 성장 과정을 실시간으로 관찰합니다. 높은 온도에서의 빠른 성장, 초기 선형 영역에서 포물선 영역으로의 전환 등 Deal-Grove 모델의 핵심 개념을 직접 체험합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
온도 변화에 따른 산화 속도의 지수적 증가 확인
산화 시간에 따른 선형→포물선 성장 전환 관찰
건식/습식 분위기에 따른 산화막 두께 차이 비교
실제 공정 레시피 수준의 파라미터 감각 배양