상세 설명
EDS는 웨이퍼 상태에서 각 다이(Die)의 전기적 특성을 검사하여 양품/불량을 판별하는 공정입니다. 프로브 카드로 각 다이의 패드에 접촉하여 Open/Short, 누설전류, 동작 속도 등을 테스트합니다. 이 시뮬레이터에서는 EDS 5단계(Contact Test → Leakage → Function → Speed → Burn-in)를 순차 수행하고 웨이퍼 맵으로 수율을 분석합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
EDS 5단계 검사 항목과 각 단계의 목적
프로브 카드(Probe Card)의 구조와 접촉 메커니즘
웨이퍼 맵(Wafer Map) 작성과 수율 분석 방법
불량 패턴(edge, cluster, random)별 원인 추정