반도체 공정 시뮬레이터

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파션 커브 시뮬레이션

파션 커브(Paschen Curve)를 조작하며 가스 방전 조건을 이해합니다.

Plasma 중급~고급

상세 설명

파션 커브는 기체의 항복 전압(breakdown voltage)이 압력×거리(pd)의 곱에 따라 어떻게 변하는지를 나타내는 곡선입니다. 최소 항복 전압이 존재하는 특징적인 U자 형태를 가지며, 이를 이해하면 플라즈마 점화 조건을 예측할 수 있습니다. 이 시뮬레이터에서는 가스 종류, 압력, 전극 간격을 바꾸며 파션 커브의 변화를 직접 관찰합니다.

이 탭에서 배울 수 있는 것

파션 커브의 U자 형태와 최소 항복 전압의 의미
압력×거리(pd)가 방전 조건을 결정하는 원리
가스 종류(Ar, N₂, O₂ 등)별 파션 커브 특성 차이
실제 플라즈마 점화 시 파션 커브의 활용

직접 체험해 보세요

Plasma의 파션 커브 시뮬레이션을(를) 지금 바로 사용해 볼 수 있습니다.

파션 커브 시뮬레이션 체험하기 정식 버전 알아보기

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