상세 설명
RF 전력을 플라즈마에 효율적으로 전달하려면 임피던스 매칭이 필수적입니다. 플라즈마의 임피던스는 가변적이므로, L-type 또는 π-type 매칭 네트워크로 실시간 정합을 수행합니다. 이 탭에서는 매칭 네트워크의 L, C 값을 조절하며 반사 전력을 최소화하는 과정을 체험합니다. Smith chart 위에서 임피던스 이동 경로도 시각화합니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
RF 임피던스 매칭의 필요성(반사 전력 최소화)
L-type 매칭 네트워크의 구조와 동작 원리
Smith chart에서의 임피던스 이동 경로 이해
플라즈마 임피던스 변동에 대한 자동 매칭 개념