상세 설명
실제 반도체 FAB에서는 진공 챔버와 펌프 사이의 배관 설계가 전체 시스템 성능을 좌우합니다. 이 탭에서는 배관 경로, 직경, 밸브 배치 등을 직접 설계하고, 설계 결과가 도달 압력과 펌핑 시간에 미치는 영향을 시뮬레이션합니다. 최적 배관 설계를 위한 실무 가이드라인을 체득할 수 있습니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
배관 경로 설계 시 고려해야 할 핵심 요소 파악
밸브 종류(게이트, 앵글, 버터플라이)별 특성과 적용
배관 설계 변경이 펌핑 시간과 도달 압력에 미치는 영향 확인
실무에서 사용하는 배관 설계 가이드라인 학습