상세 설명
진공 시스템에서 발생하는 리크(leak), 오염, 펌프 성능 저하 등의 문제를 시나리오 기반으로 진단하고 해결합니다. 실제 FAB에서 자주 발생하는 트러블 사례를 바탕으로 체계적인 문제 해결 프로세스를 학습합니다. 리크 탐지 방법, 펌프 성능 점검 절차, 오염원 분석 등 실무 필수 역량을 기를 수 있습니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
진공 리크의 유형과 탐지 방법(헬륨 리크 테스트 등)
펌프 성능 저하 원인 분석 및 대처 방안
오염원(outgassing, backstreaming) 진단 절차
체계적인 트러블슈팅 프로세스 학습