반도체 공정 시뮬레이터

펌핑 시뮬레이션

진공 펌프의 실시간 펌핑 과정을 시뮬레이션하며 진공 형성 원리를 직접 체험합니다.

Vacuum 기초 입문~중급 (반도체 공정 초보자도 가능)

상세 설명

진공 챔버에서 로터리 펌프와 터보 펌프가 어떻게 기체 분자를 배기하는지 실시간으로 관찰합니다. 펌프 종류, 챔버 체적, 가스 부하량 등의 파라미터를 조절하며 펌핑 속도와 도달 압력의 관계를 직관적으로 이해할 수 있습니다. 시간에 따른 압력 변화 그래프를 통해 펌핑의 지수적 감소 특성도 확인합니다.

이 탭에서 배울 수 있는 것

로터리 펌프와 터보 펌프의 펌핑 속도 차이 체험
챔버 체적과 가스 부하가 도달 압력에 미치는 영향 확인
시간-압력 곡선의 지수적 감소 패턴 이해
저진공에서 고진공으로의 전환 과정 관찰

직접 체험해 보세요

Vacuum 기초의 펌핑 시뮬레이션을(를) 지금 바로 사용해 볼 수 있습니다.

펌핑 시뮬레이션 체험하기 정식 버전 알아보기

Vacuum 기초의 다른 학습 탭