상세 설명
반도체 각 공정은 서로 다른 진공도를 요구합니다. CVD는 수 Torr, PVD 스퍼터링은 mTorr 수준, MBE는 초고진공이 필요합니다. 이 탭에서는 목표 압력을 설정하고 펌프 조합과 밸브 제어를 통해 해당 압력에 도달하는 과정을 실험합니다. 실제 공정 환경에서의 압력 제어 감각을 기를 수 있습니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
반도체 공정별 요구 진공도(저진공~초고진공) 구분
목표 압력 달성을 위한 펌프 조합 전략 학습
밸브 제어를 통한 압력 미세 조정 체험
압력 측정 게이지(피라니, 이온 게이지 등)의 측정 범위 이해