상세 설명
이온주입은 결정격자에 손상을 남기고, 어닐링(열처리)으로 격자를 회복하며 도펀트를 격자 자리에 앉혀야 전기적으로 일합니다. 이 화면은 그 과정을 격자 애니메이션으로 보여 줍니다 — 이온 종류(B·P·As)와 에너지를 고르면 이온이 이온주입 탭과 같은 엔진의 깊이(Rp·ΔRp)에 멈추고, 플럭스·산란·격자 강성을 바꾸며 손상이 쌓이는 모습을 보고, RTA 버튼으로 원자가 제자리를 찾아가는 것을 봅니다(정성 연출 — 활성화율·면저항 수치는 계산하지 않습니다).
본진에서 이어 보기
도펀트 확산 — 주입→어닐·프리데포→드라이브인 실습과 접합 깊이 — SemiFab AI 본 사이트의 공정 모듈입니다. 같은 공정을 식·표·인터랙티브 실습으로 정리했습니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
이온주입 격자 손상(point defect, amorphization)의 유형
어닐링 온도에 따른 격자 회복 메커니즘(SPE, 재결정)
격자 자리에 앉은 도펀트만 전류를 나른다는 것(활성화)
어닐링이 손상을 회복하는 동시에 확산을 일으킨다는 맞바꿈
직접 체험해 보세요
Implantation의 Annealing 효과 시뮬레이션을(를) 지금 바로 사용해 볼 수 있습니다.
Annealing 효과 시뮬레이션 체험하기 정식 버전 알아보기Implantation의 다른 학습 탭
🌡️ Annealing 효과 시뮬레이션
📈 확산 공정 시뮬레이션
🎯 이온주입 프로파일 시뮬레이션
🔄 확산 vs 이온주입 비교
⚙️ RTA(급속 열처리) 시뮬레이션
💡 이온주입 적용 가이드