상세 설명
열확산은 고온에서 도펀트 원자가 농도 구배를 따라 이동하는 도핑 방법입니다. Fick의 법칙에 따라 확산 프로파일이 결정되며, 온도와 시간이 핵심 파라미터입니다. 이 시뮬레이터에서는 확산 온도, 시간, 표면 농도를 조절하며 도펀트 프로파일의 변화를 실시간으로 관찰합니다. 일정 표면 농도(predeposition)와 일정 총량(drive-in) 조건을 비교합니다.
본진에서 이어 보기
도펀트 확산 — 주입→어닐·프리데포→드라이브인 실습과 접합 깊이 — SemiFab AI 본 사이트의 공정 모듈입니다. 같은 공정을 식·표·인터랙티브 실습으로 정리했습니다.
데모에서 잠긴 손잡이
배경 농도 — 데모 화면에서는 회색으로 고정되어 있고 정식 버전(기관 서고)에서 조절할 수 있습니다. 나머지 손잡이는 데모에서 그대로 돌려 볼 수 있습니다.
이 탭에서 배울 수 있는 것
Fick의 제1법칙과 제2법칙의 물리적 의미
일정 표면 농도(erfc) vs 일정 총량(Gaussian) 프로파일
확산 온도·시간에 따른 접합 깊이(xj) 변화
도펀트 종류(B, P, As)별 확산 계수 차이